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应用Fluent软件对小孔节流气体静压止推轴承进行了三维流场的模拟计算,分析了节流孔孔径、节流器工作面积、气源供气压力等因素对气体静压轴承性能的影响。结果表明:止推轴承的承载能力随着节流孔直径的增大而增大,在气膜间隙较小时,刚度随着节流孔孔径增大而减小,在气膜间隙较大时,刚度随着节流孔孔径的增大而增大;在保证加工精度的前提下,增大节流器工作面尺寸,以及在保证气源供气连续的前提下,增大气腔供气压力,都可以显著地改善止推轴承的静态性能。在自行研制的实验平台上进行气体静压实验,实验结果与数值模拟计算结果具有较好一致性,证明了将该数值计算方法的可行性。 相似文献
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Ta-W合金的化学机械抛光实验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
针对Ta-W合金材料圆薄片零件化学机械抛光工艺,设计了Ta-W合金材料CMP抛光液。采用单因素法,试验改变抛光液内组份的含量对抛光速率和抛光件表面质量的影响,以确定抛光液中各组分的最佳含量区间。找到化学作用与机械作用的最佳结合点,使两者的作用效果得到良好的匹配,才能获得高去除率、平面度好、无表面损伤的加工工艺。 相似文献
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基于FLUENT的气体静压轴承数值仿真与实验研究 总被引:2,自引:0,他引:2
应用基于有限体积法的计算流体动力学软件FLUENT进行数值模拟,对影响气体静压止推轴承静态性能的相关因素进行了分析研究,并给出了相应的变化曲线.在自行研制的实验平台上进行气体静压实验,实验与数值模拟计算的结果取得了较好的一致性,证明了将该方法应用在气体润滑领域的可行性,也为进一步改进小孔节流气体静压止推轴承的设计和改善、提高其性能提供了理论依据. 相似文献
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林鹏飞陶继忠 《真空科学与技术学报》2020,(1):33-39
为了实现准确可靠的涡轮分子泵故障诊断,提出了一种基于多样性特征和多源信息的分子泵故障诊断方法。在分子泵实验台上采集到分子泵不同故障下多个测点的振动信号,经过预处理后随机分为训练集和测试集。首先通过改变激活函数形成多个去噪自编码器,之后利用生成的深度自编码器对数据集进行多样性特征提取,最后将提取到的特征用于训练支持向量机(SVM)进行故障分类。实验结果表明该方法可以实现分子泵的准确故障诊断,准确率达到98.9%,而且在训练集不平衡或高背景噪声情况下依旧表现良好。 相似文献
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