纳米级线宽标准样片的设计与制备

介绍了纳米级线宽标准样片的用途及其在校准扫描电子显微镜中存在的问题,设计了具有快速循迹结构的线宽标准样片,采用电子束光刻工艺制作了标称宽度为25nm～200nm的线宽样片.以50nm和200nm线宽为例对样片的线宽偏差、线边缘粗糙度、线宽均匀性和稳定性进行了考核.结果表明,标称值50nm～200nm的样片线宽值与设计值...     

对我国二次码烧生产工艺的探讨与建议

分析了二次码烧生产工艺的优势、当前存在的问题及其原因,提出了改变过去“重上下架系统、轻干燥窑炉”的发展模式,建议加强联合,重视快速干燥设备的研究,研究快速干燥系统,弱化上下架系统,彻底改变二次码烧技术投资大、成本高、效益低的误区。     

质量参数评价在微纳米间距标准样板中的应用

微纳米间距标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分,是纳米科技发展的基础保证。通过对微纳米间距样板作为标准物质基本要求的论述,指出了对比度、均匀性和稳定性考核在标准样板质量参数评价中的重要作用。以SEM作为测量仪器,对不同材料的样板进行了对比度测量;以CD-SEM作为测量仪器,对不同标称间距和不同生产单位的标准样板进行了均匀性、稳定性实验以及测量不确定度分析;通过质量参数评价实验和分析,为微纳米间距标准样板的制作和使用提供重要的理论依据。实验结果表明,质量参数评价在微纳米间距样板作为标准物质使用时具有十分重要的作用。     

A lattice measuring method based on integral imaging technology

Aiming at the problem that the lattice feature exceeds the view field of the scanning electron microscope (SEM) measuring system, a new lattice measuring method is proposed based on integral imaging technology. When the system works, the SEM measuring system is equivalent to an integral image acquisition system. Firstly, a lattice measuring method is researched based on integral imaging theory. Secondly, the system parameters are calibrated by the VLSI lattice standard. Finally, the value of the lattice standard to be tested is determined based on the calibration parameters and the lattice measuring algorithm. The experimental results show that, compared with the traditional electron microscope measurement method, the relative error of the measured value of the algorithm is maintained within 0.2%, with the same level of measurement accuracy, but it expands the field of view of the electron microscope measurement system, which is suitable for the measurement of samples under high magnification.     

SemDex型晶片厚度测量仪的校准与不确定度评定

SemDex型晶片厚度测量仪是一种半导体行业专用的晶片检验仪器,目前国家还没有检定规程或校准规范。本文给出了一种使用型号为LOGITECH非接触测厚仪对晶片厚度进行定标,然后使用定标的晶片校准晶片厚度测量仪的方法,并给出了测量不确定度的计算方法,使其可溯源至国家基准。     

高支模施工技术在建筑工程施工中的运用

现阶段,在人类社会持续发展进程中,人们的生活品质呈逐渐提升发展趋势,在生活需求方面不仅局限于对基本的物质需求层面,更为关注的是居住环境方面需求。因高层建筑逐渐增多,建筑高度也逐渐提升,现代建筑结构的复杂程度倍增,特潜移默化地增加了施工作业难度系数。那么,在这一背景之下,通过科学合理地运用高支模该项施工作业技术,便能够促使施工作业难度系数得以有效降低,为建筑项目工程总体安全、质量提供保证,可以说高支模该项施工作业技术对于现代建筑项目工程整体施工建设来说,积极作用较为突出。本文主要采用文献资料检索方法,先检索国内与建筑高支模的施工技术相关的研究报告、学术论文、图书杂志、文集文章等等,对相关研究成果进行系统化地梳理及总结分析,并围绕着建筑施工当中高支模的施工技术具体运用开展深入研究及探讨。本次课题研究可谓是横跨了建筑工程、工程技术等各个领域,需运用到各种学科方法、基础理论及成果,并从整体入手综合研究本课题,以保证本次课题研究的客观性及精准性,望能够为今后对于高支模的施工作业技术相关课题的深入研究及有效应用提供指导。     

加强企业文化建设迎接入世挑战

通过对企业文化的产生与发展过程的认识和思考，提出了加强中石化企业文化建设的必要性和紧迫性，同时认为加强中石化企业文化建设是时代的要求，是我们生存和发展的需要。     

关键链项目管理(CCPM)方法应用边界条件研究

关键链项目管理（CCPM）方法是约束理论（TOC）在项目管理领域的具体应用,文中在对CCPM方法的基本原理概述的基础上,深入分析了CCPM方法存在的问题,探讨了CCPM方法应用的边界条件,并对有关问题指出了进一步研究的方向,以期促进CCPM方法在提高项目管理绩效方面的应用与研究。     

别让中低层收入者成通胀牺牲品

一项对15个城市2010年6月至2011年6月中低层收入的调查显示,中低层群体实际工资负增长5%,他们成为通胀的最大牺牲品。据数据显示,2011年8月,中国CPI同比增长6.2%,而美国CPI同比增长3.8%,中国比美国高出63%。但在现实生活中,居民通常是对具体某类     

跌破2000点是大概率事件

笔者看来,今年的A股市场,很可能会跌至2000点甚至更低.现在中国股市的基本面、政策面与市场面都面临着与2008年极为相似的情况,虽然相关机构正在为农行的发行与上市而费尽心机地极力护盘,但股市大跌的趋势不但已经形成而且很难改变.