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51.
台阶高度是半导体技术中重要的工艺参数,其准确度直接影响器件的整体性能。为了精确控制和表征台阶高度参数,制备了一套8nm~50μm的台阶高度标准进行测量技术研究。首先,通过半导体热氧化工艺、反应离子刻蚀工艺制备台阶标准。其次,基于白光干涉仪评估台阶上下表面平行度、表面粗糙度、均匀性和稳定性四项质量参数。结果表明,台阶上下表面平行度为0.4′~2.7°,标准台阶表面粗糙度为0.46nm~6.5nm,台阶两侧表面粗糙度为0.44nm~0.46nm;均匀性为0.5nm~5.9nm,稳定性为0.2nm~11.2nm。最后,与美国VLSI相同标称高度的台阶标准相比,标称高度50μm的台阶标准表面粗糙度较差,均匀性略好,其余质量参数均相当。  相似文献   
52.
分析了施工中钢屋架倒塌的原因,提出了处理和加固措施,为同类工程施工提供借鉴.  相似文献   
53.
文章详细介绍了某水泥项目熟料库顶钢结构施工技术方案,采取榀行钢结构地面组对、整体吊装的施工方案,有效节省安装时间,减少高空作业量,同时简要介绍了安装过程中的环保措施以及安全措施,可以为同类工程的施工提供参考经验。  相似文献   
54.
氢气纯度奥氏气体分析仪是一种监测生产氢气纯度的仪器,目前国家还没有检定规程或校准规范用于该类分析仪的检定或校准。因此解决氢气纯度奥氏气体分析仪的校准已成当务之急。文章给出了一种使用有证标准气体对奥氏气体分析仪进行校准的方法,并给出了测量不确定度的评定方法。  相似文献   
55.
56.
讨论了ASDUS系统中杀灭污泥中的生物质和细菌技术方案,以及不同污泥干燥方案,具有细胞失去活性,杀灭微生物的作用,从而不再产生臭味和二次污染,为安全生产奠定了基础。还对生产工艺技术、洁净化生产技术做了详尽的介绍。  相似文献   
57.
GQZC—1型自动复位阻车器新汶矿务局良庄煤矿韩志国董崇远关键词自动复位阻车器斜井跑车事故智能化控制1概述斜井跑车事故占矿井运输事故的首位,而平车场跑车事故占跑车事故的86%以上。因此实现斜巷提升安全,解决平车场防跑车问题是防止斜井上车场跑车事故最为...  相似文献   
58.
中国证监会推出了酝酿已久的新股发行改革办法,引起了市场的广泛关注,对于此次的新股发行,股民也有众多的猜想。  相似文献   
59.
通过一种简易的水热法合成了一种基于MOF的纳米复合材料AgI@TiO2@UiO-66,该纳米复合材料是具有高活性的MOF基光催化剂,测定了其在可见光照射下对有机染料诺氟沙星表现出优异的光降解性能。纳米复合材料采用X射线衍射(XRD)、傅里叶变换红外(FTIR)、紫外漫反射光谱图(UV-Vis DRS)进行了表征。在30 min暗反应和60 min可见光照射下,相比较于单体二氧化钛和UiO-66,AgI@TiO2@UiO-66光催化活性明显增强,将其降解效率提升到90.58%。这种增强来自于AgI的进入,使可见光响应增加和UiO-66的后修饰性更为优异。  相似文献   
60.
土层剪切波速是对土层动力特性和场地类别评判以及结构抗震所需要的重要参数。很多地区基于已有统计资料,取得了剪切波速与深度之间及标准贯入值之间的统计关系。但标准贯入值、钻孔深度对剪切波速估值的具体影响程度和主次关系如何仍未得知。本文尝试引入系统的理论方法——灰色关联分析方法分析钻孔深度、标准贯入值对剪切波速的影响的主次关系,得出土层标贯击数与相应土层剪切波速之间具有很好的关联性,而土层深度对剪切波速影响的关联度一般,因而应该用土层标贯数据进行剪切波速估值公式的拟合的结论。  相似文献   
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