电子束曝光制备光滑曲面微结构

提出了一种基于电子束曝光制备光滑曲面微结构的新技术。对聚合物玻璃转化温度与分子量之间的关系、分子量与电子束吸收能量密度之间的关系进行了理论分析,发现聚合物玻璃转化温度随吸收能量密度的增加而减小。以此为依据,在FEI820Dual Beam FIB/SEM系统上采用15keV、不同剂量的电子束对S1805正性抗蚀剂微结构进行了曝光实验,得到了具有不同高度、轮廓清晰的光滑曲面微结构,为使用电子束曝光技术加工光滑曲面微结构提供了新工艺。     

电子束增材制造聚焦消像散控制技术研究

为解决电子束增材制造设备加工范围受限、大尺寸工件边缘加工精度下降等问题,对大偏角下电子束的散焦和像散进行研究。采用像差理论对电子束偏转过程中出现的束径增大、形状畸变现象进行分析。本研究搭建控制系统,动态调整聚焦线圈和消像散线圈的电流,即动态聚焦消像散。制作聚焦消像散校正表,使电子束在整个扫描区域内保持小束径。采用二次电子成像方法和EOG（能量梯度函数）评价函数验证校正效果。实验结果表明,动态聚焦消像散能够有效改善束斑质量,校正后电子束在12°偏转以内清晰成像,电子图像EOG值由0.81提升至1。     

基于USB的SPM图像实时传输模块设计

本文利用Cypress公司生产的USB2.0接口芯片CY7C68013,以及TI公司的DSP芯片TMS320C6713,通过CPLD建立DSP与USB接口芯片的通信通道,通过VB编写的通信软件建立USB与PC机的通信通道,完成了SPM在扫描过程中图像实时传输模块的设计。     

高校物业管理发展对策初探

目前高校物业的管理现状还存在着许多不尽人意的地方 .高校后勤社会化为物业管理提供了可能性和必要性 .要探讨高校物业管理模式 ,必须从三方面入手 :把体制转换放在首位 ;培养高素质物业管理人员 ;造就适合物业管理发展的良好社会氛围 .     

基于ZigBee技术的刮板输送机刮板链张力监测系统

针对当前刮板输送机刮板链张力监测装置数据传输延时、耗电量大、监测精度低等问题,提出了基于ZigBee无线低功耗通信技术的刮板链张力监测系统。将无线通信模块和刮板链张力监测模块封装于刮板与刮板链中,并引入触发开关和休眠机制用于张力监测模块启停,以降低张力监测模块功耗。张力监测模块将采集数据传送至无线通信模块,无线通信模块通过Zig Bee无线通信协议将数据传送至沿线的数据接收装置,再将数据上传至上位机,实现对刮板链张力的实时监测与数据无线传输。     

一种结构简单的高精度压电尺蠖式位移致动器

介绍了一种结构简单、易装配的高精度压电尺蠖式位移致动器,阐述了致动器的工作原理和结构.致动器采用叠堆式压电陶瓷作为驱动,利用柔性铰链作为位移放大机构,能够可靠地实现光轴的双向运动.位移分辨率可以达到纳米级别,步距可以在几纳米至几毫米之间任意选择.     

虚拟加工系统运动仿真的研究

分析了在虚拟制造中占有重要地位的机械加工过程仿真方法．以HAASVF-1加工中心为例，对虚拟加工系统的运动仿真进行了研究和探讨．利用UG强大的运动分析功能实现了虚拟加工系统的运动仿真．该运动仿真使人们直观感受加工过程，能对加工过程中出现的碰撞和干涉进行检测，并提供报警信息．     

电子束曝光数据格式的改进设计与实现

根据中国科学院电工研究所研制的DY-2000型实用化电子束曝光系统对曝光图形数据格式的要求及用户的需要,对原曝光文件格式(EDF)进行了改进,利用VC++6.0开发环境实现了EDF格式文件的图形创建、结构体引用以及文件保存,同时增加了多层图形套刻和邻近效应修正数据处理的功能。实验结果表明,改进后的电子束曝光图形文件格式可满足用户的需求,便于用户新建版图文件,同时也提高了文件传输速度及曝光的效率。     

CAUXT:帮助研究人员在感兴趣的情境中采集用户体验数据

随着移动互联技术的快速发展和普及,产品的使用越来越无处不在,这也要求用户体验研究必须与情境紧密关联。但对于用户体验研究,现有的技术手段在识别和感知研究人员感兴趣的情境上还存在一定的困难,较难根据感兴趣的情境获取用户体验数据。其原因在于:现有系统工具的情境感知与用户体验研究人员的情境感知存在较大差异。目前,用户体验领域缺乏解决此类问题的研究,现有相关领域的此类研究也都是倾向于从算法和计算效率的角度来提升系统的数据采集能力,未从用户体验研究人员的情境感知机理角度来解决问题。文中创新性地通过借鉴认知科学和人机交互领域关于人认知的相关理论来构建用户体验研究人员的情境感知模型,并在此基础上利用情境感知计算技术构建具有情境感知能力的用户体验数据采集系统。通过初步的案例研究表明,此系统能够在一定程度上获取用户体验研究人员感兴趣的情境,并根据这些感兴趣的情境获取用户体验数据。     

Optimization of electron beams for ion bombardment secondary emission electron gun

Electron beam fluorescence technology is an advanced non-contact measurement in rarefied flow fields, and the fluorescence signal intensity is positively correlated with the electron beam current. The ion bombardment secondary emission electron gun is suitable for the technology.To enhance the beam current, COMSOL simulations and analyses were conducted to examine plasma density distribution in the discharge chamber under the effects of various conditions and the electric field distribution between the cathode and the spacer gap. The anode shape and discharge pressure conditions were optimized to increase plasma density. Additionally, an improved spacer structure was designed with the dual purpose of enhancing the electric field distribution between the cathode-spacer gaps and improving vacuum differential effects. This design modification aims to increase the pass rate of secondary electrons. Both simulation and experimental results demonstrated that the performance of the optimized electron gun was effectively enhanced. When the electrode voltage remains constant and the discharge gas pressure is adjusted to around 8 Pa, the maximum beam current was increased from 0.9 mA to 1.6 mA.