电子束曲面直写的Monte Carlo仿真与实验

电子束直写技术具有分辨率高、操作简单等优势,是制备微纳米曲面器件的一种理想工具。光刻胶的吸收能量沉积密度分布直接决定了直写后图形的精度和分辨率,由于曲面直写时吸收能量沉积密度分布非对称,因而现有的平面直写工艺不再适用于曲面直写。本文采用基于立方体计算微元的Monte Carlo方法计算不同直写参数变化下的吸收能量沉积密度分布。仿真结果表明：随着入射能量或入射角度的增加,直写点的椭圆度也在增加;而减小束斑和薄胶层可以提升曲面直写的分辨率。实验结果表明：在其他参数不变下,以入射能量（5、10、15 keV）和入射角度（5°、10°、15°）进行单一变量实验,直写点的长宽比分别为1.458、2.323、2.924和1.014、1.113、1.173。可以看出,入射能量对椭圆度地增加更为明显。实验与仿真有了较好地验证,本文结果为曲面直写工艺参数选择提供理论依据。     

MES的现状与发展探讨

本文由ERP的发展,引出MES的产生、发展。从国内外现阶段MES解决方案分析。探讨了未来MES技术发展趋势。     

扫描探针显微镜研究弛豫铁电体电畴生长

本文研究了典型弛豫铁电陶瓷0．9PMN－0．1PT中的电畴生长过程．用扫描探针显微镜的轻敲模式和抬举模式对驰豫铁电陶瓷的表面形貌和电场力像进行了观察．结果表明,在施加不同针尖电压（0．05、0．5、1V）的情况下,能够诱导材料中纳米尺度极化微区通过沿＜111＞方向180°反转,从而形成亚微米尺度电畴．     

基于FPGA的电子束曝光村工件台控制器设计

基于激光干涉仪的精密工件台是电子束曝光机的关键设备。为了改进工件台控制器的运算速度．设计了一种基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器。本控制器由上位机接口、激光干涉仪测量系统接口、电机控制接口、手动面板接口和主处理器组成,以美国Xilinx公司Spantan3系列的FPGA芯片XC3s400为核心。实现控制器与上位机、激光干涉仪测量系统、伺服驱动系统、手动控制面板之间的数据交换和指令传递。完成工件台的精确移动。满足电子束曝光的定位精度和拼接精度的要求。     

高水头溢洪道掺气槽需气量规律的研究

目前,国内外高水头溢洪道上多设掺气槽,作为减免高速水流对溢洪道表面空蚀影响的工程措施。掺气减蚀是一个气、水两相流的复杂的物理过程,在目前尚无理论分析成果可供设计人员参考,且气、水两相流的模型规律未知的情况下,本文从气、水两相流的基本理论出发,考虑影响掺气槽需气量的主要水力因素和结构布置,在原型观测和模型试验数据的基础上,提出一种对模型实验实测通气量加以修正、用以预估原型掺气槽需气量的经验方法,并以冯家山水库泄洪洞为例,用泄洪洞上、下两道掺气槽的模型试验资料,按经验公式算出原型需气量预估值,与实测原型需气量比较证明,采用此方法来研究需气量,是可行的。     

二维混合结构网格电场数值模拟及其在低能电子枪设计中的应用

在半导体行业中,低能电子枪是样品二次发射系数测量和样品表面电荷中和的关键部件。为了给低能电子枪提供设计参考,本文采用二维混合结构网格电场数值模拟计算方法构造了不同结构和栅极电位的电子枪模型,研究了不同模型结构对束斑和束流的影响。结果表明,随着栅极和阳极间距的增大,电子束的放大倍率和束流会降低;随着栅极孔径的增加,电子束的放大倍率会降低,束流会逐渐达到饱和点;随着栅极电位增大,栅极对电子束的会聚作用逐渐减弱,电子束的束流呈上升趋势并最终达到饱和点。     

基于纳米晶材料的高频大范围偏转器研究

在电子束焊接、电子束增材制造等多种应用技术中,偏转器的性能直接影响着电子束的加工效率和质量,其中包括偏转器的偏转范围和高频性能.偏转场分布的均匀性、场强大小和响应速度是影响偏转器性能的关键,而磁偏转器的结构和材料是决定偏转场分布均匀性、场强大小和响应速度的主要因素.本文首先利用磁标位法对多极偏转器的场分布进行了理论分析...     

热电子阴极材料LaB6的单晶制备工艺与热发射性能研究

采用Al助熔剂法成功制备出高质量LaB₆单晶,系统地研究了不同升降温速率对LaB₆单晶生长的影响,确定了升降温速率对于LaB₆单晶形状及尺寸的调控规律:在100℃/h升温,110℃/h降温速率条件下生长出的针状LaB₆单晶比例最大;而在100℃/h升温,90℃/h降温速率条件下生长出的针状LaB₆单晶尺寸最大,可达7 mm×0.133 mm×0.133 mm。同时,热电子发射性能测试表明制备的LaB₆单晶具有良好的热电子发射性能。     

大朝山水电站RCC溢流坝宽尾墩、台阶式坝面联合消能工的研究及应用

宽尾墩，台阶式坝面消能工，是通过宽尾墩后水流的突矿和台阶坝面的连续跌坎，为掠过台阶坝面的水舌下缘提供侧部（坝面无水区）通气条件。原型观测证明沿台阶处形成高掺气浓度的水气混合流。加之台阶对水流流速的消减作用，使台阶免遭空蚀破坏。本研究结合大朝山水电站的建设，从设计优化构想，开展了系统的试验研究，并把设计研究成果应用于大坝的设计和施工，取得了原型观测成果，提供了百米级以上高坝，大单宽流量RCC坝的新的成功实例。     

基于数字信号处理器DSP的SPM研究

本文以TI公司的TMS320C54xDSP为核心，介绍了DSP-SPM全数字化系统。文章首先指出目前国产扫描探针显微镜存在智能化及集成度不高、PID参数调节不方便、成本高等不足。进而引入数字信号处理器(Digital Signal Processor DSP)，介绍了TMS320C54x DSP的特点及其开发工具；然后给出了DSP-SPM系统的框图及DSP算法；文章最后还简单介绍了利用’54X的HPI(Host Port Interface)与PC机并口通讯的情况。