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161.
一种新型电子束曝光文件格式设计及其应用   总被引:2,自引:1,他引:1  
提出一种新型的电子束曝光数据格式,引入了面向对象的设计和适应于矢量型电子束扫描方式的设计,提高了对通用图形数据格式转换的精确度和效率,同时更便于对电子束曝光机的曝光控制。该设计已在电工所的科研项目“纳米级电子束曝光系统”中得到应用,被称之为EDF数据格式。  相似文献   
162.
轻敲式扫描探针显微镜   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍了扫描探针显微镜的发展与分类,对原子力显微镜的三种工作模式的优劣作了比较;重点叙述了轻敲式原子力显微镜的工作原理;引出了轻敲式原子力显微镜应用的一种新技术-相位成像技术,最后简单介绍了由北京市中科机电设备公司于2001年9月推出的Nspm-6800型扫描探针显微镜。  相似文献   
163.
近年来,伴随着我国经济整体的持续高速增长,企业作为基础经济细胞也在迅速地发展壮大。随着资金和实力的快速积累,越来越多的企业,已不满足于目前的发展速度和规模,希望能够实现更宏伟的企业发展目标。  相似文献   
164.
利用UG NX优秀的CAD/CAM功能,对潜油螺杆泵联轴节中的渐开线内啮合零齿差机构齿轮的齿廓进行分析、实现建模、虚拟装配以及虚拟线切割加工.数字化设计与制造技术的应用可提高产品开发能力、缩短产品研制周期、降低开发成本.  相似文献   
165.
开展了圆环弧类图形离散算法的研究,提出了一种以图形的曲率半径作为离散精度依据的离散算法,既保证了高的离散精度又减小了数据量,提高了数据传输效率.该算法为曝光版图中不断出现的圆环弧类图形进行精确曝光提供了保障.通过图形实例进行验证,表明此种离散方法合理,离散结果适于电子束曝光要求.  相似文献   
166.
微纳操纵系统是当前先进制造技术领域的一个重要发展方向.为了实现在亚微米及纳米尺度下进行实时观测下的操纵,设计了一种基于扫描电镜(SEM)的压电式微纳操纵系统,本系统由数字式环境扫描电子显微镜系统、精密工件台、微纳操作机构、图形发生器和计算机系统组成,采用数字式环境扫描电子显微镜作为微纳操作的观测器,在SEM的样本室内安装微纳操作臂,计算机系统控制微纳操作臂,使其在SEM的实时观测下对放置在精密工件台上的样本进行操纵,并且还可利用图形发生器进行电子束曝光以制备微纳结构.实验证明,本系统不仅能适于在各种环境下进行微纳操纵,且还可制作微纳结构,具有很强的实用性.  相似文献   
167.
5'-脱氧-5-氟-N-[(戊氧基)羰基]胞苷-2',3'-二乙酸酯是合成卡培他滨的关键中间体,它是由1,2,3-三-O-乙酰基-5-脱氧-D-核糖与用三甲基硅烷保护的5-氟胞嘧啶进行缩合反应得中间体5-脱氧-2,3-二-D-乙酰基-5-氟胞苷,再与氯甲酸正戊酯进行酰胺化制得。总收率约70%。  相似文献   
168.
介绍原通信控制系统的硬件组态和软件结构,阐述变频器的参数设置.针对总线故障,提出增加硬线端子控制的双套宏程序切换实施方案.  相似文献   
169.
如何实现高速高精度的扫描探针显微镜(SPM)扫描已经成为国际上研究的一个热点问题,扫描器动态响应性能的好坏、控制算法的优化以及电子学系统的设计等,都将影响SPM的扫描速度和精度。本文介绍了SPM在半导体工业检测和生物检测等应用中的不足,归纳了国际上对高速SPM研究的主要研究成果,分析了各个研究方法的特点和不足,对实现高速SPM扫描的主要问题进行了概括总结。  相似文献   
170.
引言中国人民银行担负着为实现四个现代化筹措资金的艰巨任务。若以目前我国银行系统较低的自动化水平而论,是难以胜任的。以储蓄部门为例,每月的储蓄额大约仅占职工每月所发工资和奖金总额的百分之十,而其百分之九十却以人民币的形式闲散在人民群众手中和商业流通领域中。对于我们十亿人口的大国来说,这是一笔多么巨大的资金啊!  相似文献   
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