高能电子束纳米曝光系统的研制

微电子产业的飞速发展要求半导体器件的最小特征尺寸越来越小。传统的光学光刻技术由于受到光的衍射等限制，开始面临挑战。电子束曝光技术具有高分辨、长焦深、无需掩模等优点，成为下一代光刻技术中极具发展潜力的一种。     

大连地区能见度特征分析

大连市大气能见度逐年下降,灰霾现象严重,收集大连市2011—2013年大气能见度及同期地面气象要素（风速、温度、气压和相对湿度）观测资料监测数据,探讨大连市大气能见度的特征及大气能见度与气象要素和空气污染之间的关系。统计分析结果表明,大连市大气能见度的年、季、日变化特征明显,呈明显的逐年下降趋势。     

土卡河水电站泄洪消能设计

云南土卡河水电站是一个中型水电工程,拦河坝为碾压混凝土重力坝。在参考国内中型水电站的泄洪消能设计经验后,结合土卡河的洪水、地质条件、尾水条件及枢纽布置特点,在施工详图阶段,对枢纽的泄洪消能方式进行了优化,采取了台阶式溢流坝面加平尾墩及戽式消力池方案,水工模型试验表明该方案是合理的。     

惯性冲击式压电微电机的研究

惯性冲击式压电微电机是近年来出现的一种新型驱动装置。阐述了微电机的工作原理和运动过程,提出了几种机械结构的设计方法并进行了对比,对微电机模型进行了动力学分析,设计了相关的驱动电源并进行了实验。经验证,设计的微电机工作性能稳定,最大运动速度为150μm/s。     

化学放大胶在电子束光刻技术中的应用

化学放大胶(ChemicallyAmplifiedResists,简称CARs)是下一代光刻技术中极具发展潜力的一种光学记录介质。介绍了化学放大胶在电子束光刻技术中图形制作工艺的关键步骤以及目前常用的几种化学放大胶,分析了将化学放大胶用于电子束曝光工艺应注意的问题和它将来的发展趋势。     

发光二极管外延片质量控制的新方法

介绍了一种利用新型发光二极管外延片光致发光光谱在线检测仪对GaP发光二极管外延片进行在线无损检测和质量控制的方法.通过对检测结果的统计分析,得出了对生产工艺的改进意见.最终实现了提高GaP外延片质量的目的.     

大范围高速原子力显微镜的前馈反馈混合控制方法

为了扩大原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)使用范围,研制了一套大范围高速AFM系统.针对大范围高速扫描时Z方向控制问题,提出了前馈反馈混合控制方法.前馈控制包括自动调平前馈和基于前一行扫描前馈,前者通过多线扫描确定样品倾斜位置,将所有扫描点的倾斜位移差用函数式表达,然后将其换算为Z向...     

高速大扫描范围原子力显微镜系统的设计

针对目前高速扫描型原子力显微镜(AFM)主要是限于物检测且扫描速度和扫描范围均有待提高,提出了一种高速原子力显微镜结构设计方案。在压电陶瓷致动器驱动的柔性铰链结构式位移台的基础上,构建了AFM大范围扫描器,使原子力显微镜在x-y扫描方向的运动范围达到了100μm×100μm。通过傅里叶频谱分析,计算获得了AFM扫描器常用的三角波驱动信号和正弦波驱动信号的高次谐波特性及其对AFM高速扫描成像的影响程度。为了消除在扫描运动过程中的机械自激振荡,提出了将正弦波信号作为高速扫描的驱动信号,行扫速度达到50line/s。在正弦波驱动的基础上提出了一种基于位置采样的图像获取方法,有效地减小了AFM扫描器的非线性误差造成的图像畸变现象。     

可逆凝胶暂堵工艺技术研究与应用

高压注水井在检串作业中泄压时间较长或压力泄不掉,容易造成地层能量损失,并给水处理造成较大压力。通过研究可逆凝胶暂堵技术工艺,使之达到产层的暂堵,屏蔽生产层压力,抑制地层流体外溢,实现常规检串。修井结束后,堵剂自行降解,不影响后续正常注水。可逆凝胶技术成功进行两口井应用,达到预期效果,解决了带压作业修井周期长、进度慢、成本高的问题,提高了生产效率,具有较高的研究推广价值。