高能电子束纳米曝光系统的研制

微电子产业的飞速发展要求半导体器件的最小特征尺寸越来越小。传统的光学光刻技术由于受到光的衍射等限制，开始面临挑战。电子束曝光技术具有高分辨、长焦深、无需掩模等优点，成为下一代光刻技术中极具发展潜力的一种。     

大连地区能见度特征分析

大连市大气能见度逐年下降,灰霾现象严重,收集大连市2011—2013年大气能见度及同期地面气象要素（风速、温度、气压和相对湿度）观测资料监测数据,探讨大连市大气能见度的特征及大气能见度与气象要素和空气污染之间的关系。统计分析结果表明,大连市大气能见度的年、季、日变化特征明显,呈明显的逐年下降趋势。     

电流变阻尼器非均布场控电极设计及其电场仿真

均匀电场控制下的电流变液在高剪切速率载荷作用下会丧失电流变控制能力,无法满足高速冲击载荷电流变阻尼器的应用需求。现有研究表明采用具有与电流变液流动方向平行的电场分量的非均布电场控制会改善这一问题。设计一种圆环型交指状电极结构,能够形成具有平行电场分量的非均布控制电场,并以电流变作用空间内有效电场强度值来表征非均布控制电场,通过COMSOL Multiphysics软件仿真分析了电极结构几何参数对有效电场强度的影响规律。仿真结果表明:有效电场强度最小值随电极宽度的增加而减小,随绝缘宽度的增加而增加。研究结果对非均布场控电流变阻尼器的电极结构设计提供了依据,并为非均布场控下电流变液其他应用提供了参考。     

用扫描热显微镜研究材料表面微区热导分布

从集总参数模型出发,初步分析了热敏电阻型热探针的热传导机制和热物性测量机理,说明了扫描热探针的信号与样品表面温度、样品与探针间的热阻以及样品热导率等因素有关。在不同的工作条件下,可分别用以进行表面的温度分布和微区热导分布等热参数的测量。选定Ｓｉ－ＳｉＯ２标准样品,定性地讨论了表面形貌和样品热导率对测量结果的影响。把扫描热显微镜用于复合材料研究,得到的热像图提供了微区热导分布的信息。     

锂离子液流电池的研究进展

锂离子液流电池是最新发展起来的一种化学储能电池技术,它综合了锂离子电池和液流电池的优点,是一种输出功率和储能容量彼此独立、能量密度大、成本较低的新型绿色可充电池.本文介绍了锂离子液流电池技术的研究背景,阐述了锂离子液流电池的结构组成和工作原理,并详细综述了锂离子液流电池国内外的研究状况,指出目前有待突破的关键技术问题....     

土卡河水电站泄洪消能设计

云南土卡河水电站是一个中型水电工程,拦河坝为碾压混凝土重力坝。在参考国内中型水电站的泄洪消能设计经验后,结合土卡河的洪水、地质条件、尾水条件及枢纽布置特点,在施工详图阶段,对枢纽的泄洪消能方式进行了优化,采取了台阶式溢流坝面加平尾墩及戽式消力池方案,水工模型试验表明该方案是合理的。     

惯性冲击式压电微电机的研究

惯性冲击式压电微电机是近年来出现的一种新型驱动装置。阐述了微电机的工作原理和运动过程,提出了几种机械结构的设计方法并进行了对比,对微电机模型进行了动力学分析,设计了相关的驱动电源并进行了实验。经验证,设计的微电机工作性能稳定,最大运动速度为150μm/s。     

化学放大胶在电子束光刻技术中的应用

化学放大胶(ChemicallyAmplifiedResists,简称CARs)是下一代光刻技术中极具发展潜力的一种光学记录介质。介绍了化学放大胶在电子束光刻技术中图形制作工艺的关键步骤以及目前常用的几种化学放大胶,分析了将化学放大胶用于电子束曝光工艺应注意的问题和它将来的发展趋势。     

发光二极管外延片质量控制的新方法

介绍了一种利用新型发光二极管外延片光致发光光谱在线检测仪对GaP发光二极管外延片进行在线无损检测和质量控制的方法.通过对检测结果的统计分析,得出了对生产工艺的改进意见.最终实现了提高GaP外延片质量的目的.