厚膜压力传感器温度补偿与调理方法研究

考虑到以往厚膜传感器压敏元件和补偿电路的一致性较差、稳定性不够理想的问题,设计了一种优化的厚膜压力传感器片内平面化结构,其可提高传感器温度补偿效果;分析了信号调理电路的合理布局,元件的科学分布对减小误差,提高抗干扰能力的有效性,并给出了实验数据,通过其证明了设想的正确性。     

基于C8051f040的瓦斯传感器阵列信号采集电路设计

利用高性能、低功耗微控制器C8051f040设计一种新型信号采集处理电路，通过多通道模拟多路开关CD4067实现传感器阵列中的多个敏感元件分时工作．在保证每个敏感元件标定周期为2星期的条件下,8个敏感元件组成的敏感元件阵列的标定周期达到16个星期。实验表明，该电路可以实现多个敏感元件分时工作，并具有较高的测量精度。     

厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究

探讨了厚膜压阻式传感器用钌系电阻器的灵敏特性和提高钌酸盐厚膜力敏电阻器灵敏系数S的方法。实验证明:钌酸盐厚膜电阻器的灵敏系数与电阻材料的物化特性、工艺条件密切相关。通过对RuO2脱水温度、合成B i2Ru2O7固相反应温度和时间控制,并进行导电相与玻璃相粒径大小的有效搭配以及纳米掺杂改性,提高厚膜力敏电阻器的灵敏系数,其值可以达到17左右,达到国际先进水平。     

一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器

为深入研究微纳米环境中物体的受力与运动状态,实现微纳米环境下的位置感知与位移操作,建立纳米尺度下位移、力检测的理论方法,研制了一种基于厚膜陶瓷电容的微位移传感器。通过采用厚膜混合集成工艺将信号处理电路与厚膜电容芯片一体化集成,即用厚膜电路替代PCB电路板,以达到降低由于温度效应和寄生电容等导致的非线性误差,提高传感器的分辨率和稳定性的效果。传感器性能标定实验结果表明,0~1 000nm量程范围内位移检测分辨率优于2nm,传感器稳定性得到显著提高,能够用于检测纳米级微小位移变化量。此外,还从材料物理属性和电路优化设计等方面分析了一体化集成的厚膜电路相对于PCB电路板的优越性。     

厚膜力传感器的─体化补偿

对以陶瓷双孔梁为弹性体的新型厚膜力传感器进行了零点温度漂移和零点的─体化补偿。分析了零点温度漂移和零点的补偿方法，在同一陶瓷弹性体上印刷、烧结、制备了厚膜力敏电阻，补偿厚膜热敏电阻及零点补偿厚膜电阻，并较好地是实现了零点温度漂移和零点的补偿。还探讨了补偿用热敏电阻浆料性能的改进。     

纳米Al2O3掺杂对厚膜应变电阻性能的影响

采用粒子尺寸为８ｎｍ的纳米Ａｌ２Ｏ３作掺杂改性剂，通过选择合适粒径和配比的导电相、玻璃及烧结工艺，得到一种ＧＦ为１３、电阻温度系数小、稳定性良好的在厚膜应变电阻，并从厚膜电阻导电机理和纳米材料特性出发。     

一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验

陶瓷电容式压力传感器具有抗腐蚀、耐高温、高精度、高稳定性、无污染和抗过载等优点,在工业中将有广泛用途.但是,其芯片目前国内尚无厂家可以生产.应客户要求,我们对陶瓷电容式压力传感器进行了设计、建模、制作和实验,并使之满足批量生产的需要.     

厚膜压力传感器的温度补偿与调理方法研究

考虑到以往厚膜传感器压敏元件和补偿电路的一致性较差、稳定性不够理想的问题,设计了一种优化的厚膜压力传感器片内平面化结构,其可提高传感器温度补偿效果;分析了信号调理电路的合理布局,元件的科学分布对减小误差,提高抗干扰能力的有效性,并给出了实验数据,通过其证明了设想的正确性.     

基于厚膜技术的瓦斯体积分数检测系统

研制一种基于厚膜技术的瓦斯体积分数传感器阵列,阐述了该传感器阵列的制作工艺和方法。设计出一种具有与该传感器阵列相适应的高检测灵敏度信号处理电路,该电路将实时采集到的数据通过串口发送到PC机,PC机数据采集界面可实现对单片机的控制,在任一时刻可选通一路传感器工作并能实时显示瓦斯体积分数,当体积分数超出一定警戒值时能够报警提示用户。