基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准系统设计

介绍了光刻机底面对准系统的基本原理,并分析了传统底面对准系统存在的缺点,给出了基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准新系统的设计方案。论述了系统硬件和软件的实现,并对其中的关键模块进行了深入分析。与传统底面对准系统相比,该对准系统成本降低约70%,同时,系统的可靠性大幅提高。实验表明,该系统的底面对准精度达到0.25μm,满足系统设计要求。     

球磨机多模型控制系统

提出了一种用于多变量模型不确定性控制的方法，克服了常规解耦设计没有考虑模型的不确定性，当对象模型摄动时解耦效果可能退化的缺陷。其要点是把整个工作范围按工作特性划分为若干个子区间，并以确定性模型表示。运用该概念，从对角优势化的定义出发，提出一种基于多模型的多变量控制系统逆奈奎斯特阵列设计方法，并应用于火电厂球磨机控制系统设计。从各模型对应的Gershgorin带及以单位阶跃作为输入的仿真结果可看出，所设计的多变量解耦控制系统具有较强的鲁棒性和满意的调节品质；且在不增加设备投资的情况下，可用现有设备实现所设计的系统。     

超高强度钢内螺纹冷挤压加工过程中丝锥损伤机理研究

超高强度钢内螺纹冷挤压加工技术是一种新的抗疲劳制造工艺。本文分析了该工艺特点，建立了超高强度钢内螺纹冷挤压加工系统，并研究了冷挤压成形过程中丝锥的损伤特征。     

新型URE-2000S型紫外单、双面深度光刻机研制

重点介绍新近开发的用于单、双面深度曝光的URE-2000S新型紫外光刻设备的技术背景、工作原理、结构组成、技术措施以及总体性能。该设备采用了国内首创的CCD图像底面对准技术、单曝光头实现双面对准曝光,具有双面套刻对准精度高、操作简单、工作高效等优点。实验表明,该设备总体性能处于国产双面光刻的先进水平,接近国外同类产品水平。     

波浪冲击下钢丝绳索具应力场与疲劳寿命研究

钢丝绳索具是海洋工程吊装平台起柔性连接的关键部件,常受到不规则波浪的冲击作用,采用流固耦合方法进行应力与疲劳寿命的研究对钢丝绳索具的安全具有重要意义。基于SOLIDWORKS与ANSYS平台,建立钢丝绳索具单向流固耦合分析模型,结合虚拟疲劳寿命分析方法,对波浪冲击下钢丝绳索具的应力与疲劳寿命进行有限元分析,同时对比了静载下钢丝绳索具的应力与疲劳寿命特性,为钢丝绳索具的设计与性能评估提供理论依据。通过分析发现,波浪冲击使钢丝绳索具内部应力成"双峰"型分布,在增大应力同时加剧应力分布的不均匀性,以及降低钢丝绳索具的疲劳寿命。随着波速从(3~6),钢丝绳索具最大应力从140.08增大到307.73,应力变化范围从(112.73~274.52);在预设计疲劳寿命1次情况下,实际使用寿命成"S"型由950000次减小到960次。     

基于单向流-固耦合的高精密液体静压主轴应力场和温度场研究

高精密液体静压主轴系统正常工作时,系统不均匀的温度分布、润滑油膜的压力分布都会造成应力集中和主轴系统结构变形,导致主轴过早失效。基于单向流-固耦合理论,以FLUENT和Workbench为联合仿真平台,对液体静压主轴的力-结构变形和热-结构变形以及应力分布进行分析研究。分析表明:主轴工作达到稳态后,轴承静压腔内的压力分布均匀,回油槽以及出口位置的温度梯度大,平均温度高于油垫的温度;静压轴承润滑油膜的压力和温度分布对主轴的径向变形影响更为明显,进而影响主轴的刚度;电主轴转子的温升是影响主轴应力集中的主要因素,对主轴工作的油膜间隙影响不明显。     

Fe~(3+)存在下DO冲击对好氧活性污泥处理制浆中段废水的影响

Fe3+存在下,考察了处理制浆中段废水的好氧活性污泥系统在溶解氧(DO)浓度为0.5mg/L和5.5mg/L冲击7d的处理效果和污泥特性,调整DO浓度为2.0mg/L进行7d的恢复实验,考察处理效果和污泥特性,并与不加铁的空白组对照。在DO浓度为0.5mg/L和5.5mg/L冲击下,加铁组和空白组处理效果均下降,污泥沉降性能变差,加铁组下降幅度小于空白组;恢复实验中,加铁组恢复速度相对较快。与DO浓度为0.5mg/L冲击相比,DO浓度为5.5mg/L冲击对系统的影响较小,但恢复阶段却相对较慢。     

新能源发电:竞平价和后疫情时期下的投资策略思考

作为能源供给侧改革的重要一环,新能源发电赋予了我国能源转型的新动能,能源结构占比呈逐步上升趋势,但随着电价等政策的收紧以及我国对新冠肺炎疫情的初步控制,新能源发电将步入竞平价和后疫情时期,面临诸多机遇与挑战.在深入分析新能源发电资源分布和政策现状,总结机遇与挑战基础上,提出了竞平价和后疫情时期下,新能源发电的规模化、优质化的三大具体投资策略与提升效能、保障送出、创新模式的六大具体措施.对新能源企业在竞平价和后疫情时期开展投资业务具有一定的指导意义.     

基于ANSYS-FLUENT的高精密液体静压径向轴承动静态特性研究

以液体静压轴承为支撑的电主轴是高精密数控机床的一个最为关键的组成部件。静压轴承润滑油膜的压力分布、刚度和温度场的分布直接影响数控机床的加工精度。基于液体静压技术理论,对轴承的流量、静压腔压力和刚度进行数值计算。基于ANSYS-FLUENT联合仿真平台,以液体静压径向轴承的润滑油膜为研究对象,对其压力场、流场和温度场分布等进行了静态和瞬态的研究,仿真结果与数值计算结果取得了很好的一致性。分析表明,静压腔内的润滑油的压力和温度分布不会因为主轴的转速变化而发生明显的变化,而周向封油边和轴向封油边是压力和温度变化的敏感位置。