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设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源,并对其辐射性能作了测试比较。测试结果显示,发射光谱带在2-4μm范围内有比较强的辐射能量,调制频率在20-40 Hz之间有较好的调制度。这些特性已经符合多数红外传感器的要求。 相似文献
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高精度硅电容压力传感器的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了一种采用微机械技术形成的电容压力传感器。在设计上采用完全对称的三层结构,从而较好地消除由温度特性不匹配造成的漂移。利用Diode-quad接口电路的输出增益反馈方式基本消除了器材固有的非线性,使传感器的精度大大提高。 相似文献
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微机械力敏传感器及其发展动向 总被引:3,自引:0,他引:3
微机械加工技术的出现把传顺,特别是力敏传感器,推向一个新的发展阶段。微机械力敏传感器以其小型、廉价和集成化成为力敏传感器发展的主流。本文介绍微机械压力传感器、加速度传感器和微机械陀螺的现状及其发展动向。 相似文献
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<正> 第四届国际固态传感器会议于今年六月初在日本东京举行。无论从会上宣读的论文还是从参加会议的人数来看,这次会议都是空前的盛大。反映了该会议已确立了它在国际学术界的权威地位,也反映了近年来国际上对固态传感器研究工作的广泛重视。 在这次会议上,我国学者报告的论文有九篇,按国家统计,与西德并列第五,反映了我国固态传感器研究工作在这几年来有很大进展, 相似文献
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本文报道了计算择优生长的多晶硅压阻灵敏度的统计平均理论,由此得到了〈100〉、〈110〉〈111〉、〈211〉、〈311〉、〈331〉等低指数晶向择优生长的p型和n型多晶硅的平均晶粒压阻系数.将这些结果应用到具有多重择优晶向的多晶硅材料,经过计算可进一步得到多晶硅力敏电阻的灵敏度.对于制作在矩形膜中心区域的一系列多晶硅电阻,实验得到的结果与理论分析的结果符合得很好.这些结果为多晶硅压阻型压力传感器的设计提供了有效的手段. 相似文献
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微电子机械系统进展和趋势 总被引:10,自引:1,他引:9
本文对微电子机械系统的进展和趋势提出了一些观点性意见,在阐述了微机械技术和MEMS的特点后,强调发展MEMS器件要利用其特点而避免其短处,并为此列举了五个方面成功的MEMS器件。最后,本文讨论了了MEMS进一步发展的趋势和提出了我国发展MEMS的意见。 相似文献