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本文以硅溶胶为磨料颗粒、次氯酸钠(NaClO)为氧化剂制备适用于CZT晶片的化学机械抛光液.采用XPS能谱分析CZT表面元素化学态,研究CZT化学机械抛光过程中抛光液的化学作用机理,使用激光干涉仪、原子力显微镜研究抛光液中NaClO含量对晶片抛光速率、晶片表面PV值及表面粗糙度Ra的影响.结果表明,硅溶胶-次氯酸钠抛光液通过与CZT晶体中Te单质或CdTe发生化学反应,生成TeO2.随后在一定压力下,抛光盘与CZT晶片发生相对运动,并在硅溶胶磨料颗粒的辅助作用下去除反应物.当NaClO含量在2%~10%时,随着NaClO含量的增加,晶片表面PV值和粗糙度Ra值先降低后升高,去除速率则随着NaClO含量的增加而增加.NaClO含量为6%时,PV值和Ra值最低,得到的晶片表面质量最好. 相似文献
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介绍了改进GaN功率MMIC背面通孔工艺的相关方法,并对通孔进行了可靠性方面的测试与分析。通过优化机械研磨的方法,减薄圆片至75μm左右,保持片内不均匀性在4%以内;利用ICP对基于SiC衬底的GaN功率MMIC进行了背面通孔工艺的优化,减少了孔底的柱状生成物。随后的可靠性测试测得圆片通孔的平均电阻值为6.3 mΩ,平均电感值为17.2 nH;对通孔样品在0.4 A工作电流175°C节温下进行了工作寿命试验,200 h后通孔特性无明显退化。 相似文献
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利用多圈光电编码器具有体积小、量程大以及数字量输出等优点,设计了基于双读数系统的航天级多圈绝对式光电编码器。根据航天相机的精度要求,采用精度高、分辨率高的绝对式矩阵玻璃码盘作为一级码盘完成角度测量;根据电机转动的计数要求,采用重量轻,体积小的绝对式矩阵金属码盘作为二级码盘完成对一级码盘的转动圈数计数;其具有的双狭缝及双读数系统可实现信号处理电路冷备份。按照鉴定级航天产品要求,通过热学环境实验和力学环境实验对编码器性能进行了验证。实验结果表明,所设计的编码器精度范围为±100″内、分辨率为80″、测量圈数为16圈、外形尺寸为φ50 mm×50 mm、重量为270 g,稳定性高、可靠性强,且满足高分辨率航天设备设计指标。 相似文献
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69.
采用ADS仿真软件对OFDM系统和SC-FDE系统进行了仿真实现,对这两个系统的结构和性能进行了对比,分析了两个系统对功率放大器的要求。仿真结果表明,综合这两个系统优点的双模式系统将会是一个技术上更为优越的宽带传输方案。 相似文献
70.
大功率推进电机在出厂前要模拟实际工作环境检测多种参数 ,并将测量参数传送到PC机做实时分析和处理 ,传统的基于并行口或串行口的数据采集系统由于传输速率的限制不能满足要求。而USB具有高速 ,热拔插 ,易于扩展等特点 ,非常适合作为采集系统和计算机之间的接口。文中给出了基于USB接口的大功率推进电机检测系统的硬件、固件、PC机软件的设计 ,讨论了大电压强电流的测量方法和抗干扰措施 ,介绍了USB接口芯片PDIUSBD1 2的使用和编程 ,列举了处理USB驱动程序Setup数据包的详细过程 ,分析了USB驱动程序的层次结构 相似文献