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141.
Chemical mechanical polishing of polymer films   总被引:2,自引:0,他引:2  
Strategies to reduce capacitance effects associated with shrinking integrated circuit (IC) design rules include incorporating low resistivity metals and insulators with low dielectric values, or “low-κ” materials. Using such materials in current IC fabrication schemes necessitates the development of reliable chemical mechanical polishing (CMP) processes and process consumables tailored for them. Here we present results of CMP experiments performed on FLARE™ 2.0 using a specialized zirconium oxide (ZrO2) polishing slurry. FLARE™ 2.0 is a poly(arylene) ether from AlliedSignal, Inc. with a nominal dielectric constant of 2.8. In addition, we provide insight into possible removal mechanisms during the CMP of organic polymers by examining the performance of numerous abrasive slurries. Although specific to a limited number of polymers, the authors suggest that the information presented in this paper is relevant to the CMP performance of many polymer dielectric materials.  相似文献   
142.
用量子化学中的SCF-MOAM1方法,全优化计算了以苯并唑酮为伪酸组分的(N-H酸)Mannich反应的反应物、过渡态和产物络合物的分子几何构型、电子结构和生成热。根据计算所得各反应的活化能,提出了该反应在酸性介质中的机理,即甲醛首先与苯并唑酮作用,其产物再与二甲胺作用生成Mannich碱,并就其缘由进行了讨论。  相似文献   
143.
在前人研究的基础之上,归纳总结了聚合物复合材料填充剂的种类,综述了对其进行表面改性的目的、条件、方法、工艺以及对改性结果的表征等。文章还分析了影响填充聚合物复合材料性能的因素,指出了今后发展的方向。  相似文献   
144.
一种多径环境下基于四阶累积量的阵列扩展测向方法   总被引:3,自引:0,他引:3  
本文分析了基于四阶累积量的测向方法不能正确测量多径信号方向的原因,提出了一种多径环境下的基于四阶累积量的新型测向方法。该方法利用零点领处理方法抑制多径信号,然后采用四阶累积量进行阵列扩展测向。计算机模拟结果表明该方法在多径环境下具有良好的性能并且可能实现对足够多的信号进行测向。  相似文献   
145.
146.
本文介绍了广播发射台利用计算机技术、网络技术、遥控遥测技术、现代测试手段,对设备进行自动化控制与管理;实现设备技术指标自动测试,发射台无人值班、有人留守,建立机器的计算机档案制度,确保安全优质播出的方法和经验。  相似文献   
147.
张英男  李洪胜 《核技术》1993,16(11):665-668
用平衡法核素心室造影自动左心室功能测定法检查了23例正常人、37例无心肌梗塞(CAD-NMI)和14例有心肌梗塞(CAD-MI)冠心病人左心室功能。结果表明,PFR反映心肌缺血改变比其他心功能参数敏感。CAD-NMI组与正常对照组比较,PFR的灵敏度为94.59%,P〈0.001,其他参数的灵敏度依次为TPFR54.05%,P〈0.01;PER54.05,P〈0.01;TPER49.95%,P〈0  相似文献   
148.
采用化学分析,金相检验,力学性能测试及扫描电镜分析方法对轿车前轮毂早期断裂原因进行了分析。结果表明,冷却不足使组织中出现网状及小块状铁素体,导致硬度偏低,加之磨削加工痕迹较粗是引起前轮毂早期断裂的原因。  相似文献   
149.
Viterbi译码器的硬件实现   总被引:3,自引:0,他引:3  
介绍了一种Vkerbi译码器的硬件实现方法。设计的基于硬判决的Viterbi译码器具有约束长度长(9)、译码深度深(64)的特点。为了兼顾硬件资源与电路性能两个方面,在设计中使用了4个ACS单元,并根据Xilinx Virtex系列FPGA的结构特点.利用FPGA内部的BlockRAM保存汉明距离和幸存路径,提高了译码速度。  相似文献   
150.
At the present time, somatic and male-specific coliphage and human enterovirus groups are being considered as indicators of possible pathogenic human enteric virus contamination from fecal contamination. A primary attribute for any indicator of fecal contamination is its prevalence at the source and in associated ground water. It must be consistently found in the source material at concentrations that are measurable with available techniques. Over a period of ten months, male-specific and somatic coliphage ranged from 7000 to 4,000,000 PFU/L in the effluent from a multi-user septic-tank. Unlike the values determined for septic-tank effluent, coliphage concentrations measured in ground water over this same period only varied by five-fold. Coliphage concentration in ground water under the down-gradient edge of the drainfield contained 1000 PFU/L. This concentration decreased at −1 log10/5 m during 17.4 m of ground-water transport. From these data, coliphage concentrations in septic-tank effluent seem sufficient to allow their use as indicators of fecal contamination in ground water.  相似文献   
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