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研究了不同气氛下快速预热处理(RTA)后,硅片中的流动图形缺陷(FPDs)密度和随后两步热处理形成的魔幻清洁区(MDZ)之间的关系.硅片经过高温快速预热处理后,再经过800℃(4h)+1000℃(16h)常规退火,以形成MDZ.研究发现,当硅片在Ar气氛或N2/O2(9%)混合气氛下RTA预处理后,FPDs密度较低,随后热处理出现的氧沉淀诱生缺陷密度较高、清洁区较宽.对于N2/O2混和气氛,随着O2含量的增加,FPDs和氧沉淀诱生缺陷密度变小,纯O2气氛下预处理后硅片中FPDs和氧沉淀诱生缺陷密度最低.因此,可以通过调节N2/O2混合气氛中两种气氛的比例来控制空洞型微缺陷和硅片体内氧沉淀诱生缺陷的密度. 相似文献
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研究了用于喇曼放大的绝缘硅(SOI)脊形波导中自由载流子寿命与非线性光学损耗的关系.通过理论推导结合二维数值模拟的方法,提出了带有零反偏pin结构的SOI脊形波导中自由载流子寿命的解析表达式,该解析表达式与他人的实验结果相符.结果表明,比起不带pin结构的波导,带有零反偏pin结构的波导中的自由载流子寿命最多可以缩短80%.同时,研究了pin结构外加反偏电压时,自由载流子寿命进一步缩短的原因,并从强场下自由载流子速度饱和的角度出发,得到了自由载流子寿命的理论极限值.最后,模拟了不同自由载流子寿命情况下SOI脊形波导的喇曼净增益随着输入泵浦光功率密度的变化曲线,为硅基喇曼放大器的进一步研究指明了方向. 相似文献
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997.
998.
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1000.
Hui Luo Wei Hao David H Foos Craig W Cornelius 《IEEE transactions on information technology in biomedicine》2006,10(2):302-311
Chest radiography is one of the most widely used techniques in diagnostic imaging. It comprises at least one-third of all diagnostic radiographic procedures in hospitals. However, in the picture archive and communication system, images are often stored with the projection and orientation unknown or mislabeled, which causes inefficiency for radiologists' interpretation. To address this problem, an automatic hanging protocol for chest radiographs is presented. The method targets the most effective region in a chest radiograph, and extracts a set of size-, rotation-, and translation-invariant features from it. Then, a well-trained classifier is used to recognize the projection. The orientation of the radiograph is later identified by locating the neck, heart, and abdomen positions in the radiographs. Initial experiments are performed on the radiographs collected from daily routine chest exams in hospitals and show promising results. Using the presented protocol, 98.2% of all cases could be hung correctly on projection view (without protocol, 62%), and 96.1% had correct orientation (without protocol, 75%). A workflow study on the protocol also demonstrates a significant improvement in efficiency for image display. 相似文献