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小型腔式微波离子源的研制 总被引:1,自引:1,他引:0
研制了1种用在离子束细胞刻蚀装置中的小型腔式微波离子源,它由石英放电管、同轴谐振腔和封装在管一端的二电极引出系统组成。该源由同轴腔激发起的表面波在石英管内产生等离子体柱。为了提高柱末端等离子体离子引出流密度,选用了在内径7.0mm直管的一端加上一内径5.0mm衬管的放电管。在微波频率为2.45GHz,输入功率为93W下,氮的引出流密度分别为48.4mA/cm2和91.7mA/cm2。这种表面波放电等离子体源体积小、结构简单,可在较宽的压强范围内产生重复性好、工作稳定的等离子体柱。 相似文献
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本文采用2kWCO_2激光器对20Cr_(2)Ni_(4)W钢进行了激光表面钴合金化的试验研究。用光学显微镜、扫描电镜、电子探针、X射线衍射、透射电镜、显微硬度计等手段分析了合金化区域的成分、组织和性能。结果表明,激光表面钴合金化可获得含钴均匀的合金化层,合金化层的高温硬度和热疲劳性能均有提高,在热作工具钢表面性能优化领域有着良好的应用前景。 相似文献
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实时数据库及时准确地从现场获取数据并有效地组织和管理,是水电厂 设备故障诊断系统进行故障诊断的首要条件。文中在分析了现有的实时数据库实现方法后, 用C++ Builder 5.0和SQL Server 7.0完成了实时数 据库实现的一种简洁方法,它不但能够满足工程需要,而且具有关系数据库所具有的一切强 大的数据库管理和维护功能,实现也很简单,极大地节省了实时数据库开发的人力和物力。 实验表明,该方法是可行的。 相似文献