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Cheol-Min Park Byung-Hyuk Min Jae-Hong Jun Juhn-Suk Yoo Min-Koo Han 《Electron Device Letters, IEEE》1997,18(1):16-18
We have fabricated a self-aligned offset-gated poly-Si thin film transistor (TFT) by employing a novel photoresist reflow process. The gate structure of the new device is consisted of two unique patterns: A main-gate and a sub-gate. The new fabrication method extends the gate-oxide over the offset region. With the assistance of the sub-gate and reflowed photoresist a self-aligned offset region is successfully obtained due to the offset oxide acting as an implantation mask. The poly-Si TFT with symmetrical offsets is easily fabricated and the new method does not require any additional offset mask step. Compared with the misaligned offset gated poly-Si TFTs, excellent symmetric electrical characteristics are obtained 相似文献
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该文首先分析了变频液压泵控调速调压实验控制系统的理论基础,从理论上分析加阻尼后系统开环时恒流的可行性;并付诸实验研究;然后结合实验曲线进行分析,阐明其控制性能优劣. 相似文献
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脱硫倾翻车是炼钢厂80T炉区脱硫站的重要设备,通过它的倾翻,扒渣机的扒渣等工艺降低了钢中的含硫量,提高了钢的品质,为宣钢的品种钢开发打下坚实的基础. 相似文献
26.
优化了铝合金轮毂的开发流程.采用I-DEAS软件对铝合金轮毂的弯曲疲劳、径向疲劳及冲击试验进行有限元分析,证明仿真分析可以满足指导车轮设计,优化车轮结构的要求. 相似文献
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关于项目管理中施工进度控制的研究 总被引:5,自引:1,他引:4
阐述了项目管理中施工进度控制的地位与作用,分析了影响工程进度的因素,提出项目进度控制需做好的工作,以提高进度控制水平,确保合同工期的实现。 相似文献
30.
By using scanning polarization force microscopy,the deliquescence process and the atomic steps on the cleavage surface of CaCO3 in air were studied in situ.Under an exposure to medium umidity(-57%),the sloiw step movement has been observed. 相似文献