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Advances in selective wet oxidation of AlGaAs alloys 总被引:3,自引:0,他引:3
Choquette K.D. Geib K.M. Ashby C.I.H. Twesten R.D. Blum O. Hou H.Q. Follstaedt D.M. Hammons B.E. Mathes D. Hull R. 《IEEE journal of selected topics in quantum electronics》1997,3(3):916-926
We review the chemistry, microstructure, and processing of buried oxides converted from AlGaAs layers using wet oxidation. Hydrogen is shown to have a central role in the oxidation reaction as the oxidizing agent and to reduce the intermediate predict As2O3 to As. The stable oxide is amorphous (AlxGa1-x) 2O3 which has no defects along the oxide/semiconductor interfaces but can exhibit strain at the oxide terminus due to volume shrinkage. The influence of gas flow, gas composition, temperature, Al-content, and layer thickness on the oxidation rate are characterized to establish a reproducible process. Linear oxidation rates with Arrhenius activation energies which strongly depend upon AlAs mole fraction are found. The latter produces strong oxidation selectivity between AlGaAs layers with slightly differing Al-content. Oxidation selectivity to thickness is also shown for layer thickness <60 nm. Differences between the properties of buried oxides converted from AlGaAs and AlAs layers and the impact on selectively oxidized vertical cavity laser lifetime are reported 相似文献
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分析了卫星测试无线转发中一点对多点通讯系统中的关键性技术:包括硬件连接、通讯方式及有关技术,并给出了具体方案。 相似文献
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JIANGHong-yi LONGHai-shan ZHANGLian-meng 《武汉理工大学学报(材料科学英文版)》2004,19(2):55-56
The Mg2 Si-matrix thermoelectric material was stnthesized by low temperature solid-state renc-tion.This paper studies the effects of holding time and reaction temperatare on the particle size and the properties of the material, and also studies effects of doping elemental Sb, Te and their doping seqence on the properties of the materiol. The result shows that excessirely high temperature and elongated holding time of solid-state reaction are harmful, there is a range of partiele size to ensure optimum properties and the doping sequence of Sb or Te without influencing the properties. 相似文献
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高校学生公寓是学生学习、生活的重要场所,引导学生养成良好的行为习惯有助于学生公寓管理工作的顺利开展。文章从维护高校稳定、增强大学生的法律意识和法制观念、促进大学生自我发展、实现学生公寓“管理”、“育人”职能等方面论述学生行为习惯养成的重要性,并从制度建设、环境教育、文化熏陶、组织保障等方面提出具体对策措施。 相似文献
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激光电视全息技术是一种测量物体表面微小变形的非接触式测量技术.与常规检测方法相比,它具有高精度、全场、实时测量等特点,有着重要的理论研究和实用价值,是当前无损检测领域研究热点之一.本文介绍了激光电视全息技术的基本原理和特点、国内外在无损检测领域的应用成果和最新研究进展,并探讨了未来的发展趋势. 相似文献
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