ULSI多层互连中的化学机械抛光工艺

介绍了化学机械抛光(CMP)技术在大规模集成电路多层互连工艺[1]中的重要作用,对CMP过程和CMP的影响因素进行简单分析。总结出CMP技术在多层互联平坦化中的优势,介绍目前常用互连材料中SiO2介质及其金属材料钨和铜的化学机械抛光常用分析机理,并简单介绍了各种互联材料常用的抛光液及抛光液的组分,对抛光液作了简单的对比。针对传统CMP过程存在的问题,分析了皮带式和固定磨料的CMP技术。     

性能最优化布尔函数的构造

考虑各项性能指标的相互联系,以构造综合性能最优化的函数为目标,以Bent函数为基础,综合运用离散Walsh谱和特征矩阵工具,通过级连、分裂和有条件修改函数输出序列,提出了性能最优化的函数构造法。该构造法可以根据不同需要灵活构造同时满足多个性能要求的多种函数。     

原位生成NbC颗粒增强镍基激光熔覆层

激光熔覆技术是金属材料表面强化和改性的有效方法之一。利用该技术,在A3钢表面激光熔覆预置涂层,成功制备出了原位生成NbC颗粒增强的镍基复合涂层,并进行了硬度、摩擦性能测试,X射线衍射(XRD)和显微组织分析。扫描电镜(SEM)、能谱分析(EDS)和X射线衍射分析结果表明,原位生成NbC颗粒增强的镍基复合涂层与基材呈现良好的冶金结合,熔覆层的组织为先共晶析出的树枝晶(Cr,Fe碳化物相)和原位生成的NbC颗粒相均匀分布在γ(Ni Fe)基体中。硬度测试和摩擦磨损实验表明,激光熔覆原位生成NbC颗粒增强镍基复合涂层平均硬度高达HV0.31200,耐磨性是纯Ni60激光熔覆层的2.5倍。分析认为,其硬度和耐磨性提高的原因在于涂层中形成了大量的、原位生长的NbC颗粒增强相,且均匀分布于基体中。     

计算机网络安全技术初探

本文介绍了网络安全的来源和TCP／IP协议的安全漏洞,同时介绍了当前网络采用的各种安全防范技术,对认识网络和网络安全具有很强的参考价值。     

合成孔径雷达原始数据非线性编码压缩及硬件实现

讨论了合成孔径雷达(SAR)原始数据非线性量化编码原理和二维非线性压缩方案设计,并给出了该方法的硬件实现.     

壳体厚度对TNT炸药快速烤燃响应的影响

采用自行设计的快速烤燃试验方法,测试厚度为2,4,6 mm梯恩梯(TNT)装药壳体的响应状态,结合TNT的高压差示扫描量热(PDSC)分解特性,研究了厚度对炸药装药响应的影响.结果表明:在快速烤燃试验条件下,壳体厚度由2-6 mm变化时,TNT炸药均为爆炸反应等级;壳体厚度变化对TNT炸药响应等级没有显著影响,但炸药装...     

高重频双端泵浦全固态Nd∶YVO4声光调Q激光器

采用国产大功率光纤束模块,双端面泵浦两块Nd∶YVO4 激光晶体,采用高衍射效率声光调Q技术,在注入总功率50W,最高重频100kHz的条件下,获得平均输出功率为18. 21W的1064nm激光输出。脉冲宽度为62ns,相应光光转换效率为36. 4%。在最低重频10kHz时,具有最大单脉冲能量1. 3mJ ,相应脉冲宽度为16. 4ns,峰值功率达到了80kW。     

一种基于LTCC技术的方形平面电感设计与仿真

本文从电感的基本模型出发,提出了方形平面电感的等效电路模型,分析了电感的基本特性,并得出了等效电路中电感计算的数学公式;其次,通过MATLAB画出了等效电路中电感特性随频率变化的曲线图,同时利用三维电磁仿真软件HFSS验证了等效电路模型的正确性;最后讨论了基于LTCC工艺的平面电感的特性及其参数变化对电感特性的影响.     

元宇宙校园:数字时代下的沉浸式教育方式探究

随着数字经济的迅速发展,元宇宙校园已经成为现代教育发展的必然趋势,作为数字化教育的重要组成部分,它能为学生提供更加丰富、生动的学习体验。文中围绕元宇宙校园的特征、发展中存在的问题,探讨了元宇宙校园在沉浸式教育中的作用和意义。     

油田通信动力环境监控系统的应用

机房动力环境对油田通信系统的安全稳定运行至关重要,机房的温湿度、电源设备的运行状况、机房门开启状态等都是事关通信设备能否正常工作的要素。因此,油田通信动力环境监控系统的重要性日益突出。文章介绍了油田通信动力环境监控系统的监控内容、系统组网结构、数据传输方式等。