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高效率平面磁控溅射器的研制 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍一种新型磁控溅射装置。它采用两块极性相对的环状磁铁的设计方法,通过扩大靶表面的等离子放电区域面积,使传统磁控溅射枪使用中经常受到的两个限制──溅射速率与靶的利用率得到了较大的改善。实验中铜靶在溅射功率密度为11W/cm~2时溅射速率约为800nm/min,如果继续提高功率则可获得更高的速率。而靶的利用率可达64%左右。另外,在认为出射粒子符合cos~nθ分布的前提下,发现当n=3.3时,实验数据和理论数据符合得较好。 相似文献
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研究 m,m′-二氨基二苯酮 (m,m′- DABP)与均苯四酸二酐 (PMDA)的缩聚及亚酰化 ,并运用微波辐射和常规加热两种方式对反应进行了比较。考察了微波辐射时间 (功率 )、单体浓度、单体配比和温度等因素对缩聚物的特性粘数、转化率的影响。用红外光谱对亚酰化度进行了表征 ,并用简并四波混频技术首次测量了该缩聚物的三阶光学非线性极化率系数及其响应时间。实验结果表明 ,微波辐射对提高聚合物的特性粘数和转化率都有显著作用 ;合成的缩聚物具有较大的三阶光学非线性极化率系数 (聚酰亚胺的 χ(3) =1.642× 10 -13 esu)和较快的时间响应 (19ps 相似文献
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采用X射线衍射分析技术,研究了脉冲化学镀非晶态Ni-P合金的原子分布和函数,得出其短程有序原子集团的尺度为0.754nm,约为熔体激冷法获得的非晶态Ni-P合金短程有序畴的1/2。并利用脉冲化学沉积非晶态合金的微机制择这一结果进行了解释。 相似文献
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本文介绍了采用复合吸收剂净化天然气的试验结果,在现有三甘醇等脱水剂中添加单乙醇胺,在脱水的同时脱除H_2S,在保证净化气露点低于-21℃的条件下,使净化气中H_2S含量亦低于5mg/m~3。 相似文献
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