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本文综术了集成电路工艺的Cu布线中Cu薄膜化学气相沉积(CVD)的研究背景,详细介绍了CVD生长Cu金属薄膜的国内外研究进展及CVD对前趋物的要求,并对前趋物的一些物理、化学性质进行了总结,最后,对薄膜沉积的计算机摸拟作了简要介绍。 相似文献
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建立垂直管吸收器管内泡式吸收过程中传热传质的数学物理模型,对其泡式吸收过程进行数值研究,获得泡式吸收方式的一些传热传质特性,为吸收器的优化设计提供一定理论指导。 相似文献
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采用水力模型研究方法 ,针对马钢 2 0t转炉进行溅渣护炉冷态模拟试验 ,得出最佳工艺参数为 :枪位 1680mm ,氮气流量为 110 0 0m3/h ,大流渣量 ,渣粘度适中。此外 ,在满足炼钢生产的条件下 ,采用夹角为 13°的喷头溅渣效果好 相似文献
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引导大学生自主学习,培养大学生的自主学习能力,已逐步成为高等教育工作者的共识.如何促进大学生的自主学习,关键取决于两个方面:就学生而言,要树立自主学习的观念,强调学习的自主性、主动性、自觉性、有效性;就教育制度而言,要建立与大学生自主学习相匹配的高考招生制度、学籍管理制度、学生管理制 相似文献
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微波仪器远程自动测试系统的设计与实现 总被引:3,自引:1,他引:2
针对大多通信测试仪器仅局限于本地测试监控的现状,提出了一种将本地测试仪器用于对远程微波设备进行测试监控的开发模式,从而实现了远程仪器的自动化测试。分别就系统中的关键技术和交互方式作了详细的介绍,得出系统具有较强的可扩展性,且简单易操作的特点,相信该系统会有广阔的的应用前景。 相似文献
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本文提出生种新的带限信号的外推方法,该方法能够很好地抑制噪声干扰,且计算复杂性较低,本文给出算法,证明了收敛性,最后给出了误差计算机实验结果。 相似文献
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开关DC—DC变换器并联运行问题的研究 总被引:4,自引:0,他引:4
开关直流电源并联运行在许多场合应用。每一路电源输出阻抗的不一致性使每一路输出电流难以均衡,影响了系统的可靠性。本文提出了一种双回路DC—DC变换器的控制方案。由于采用电压环(外环)和电流环(内环)两环结构的双回路控制模式,变换器输出电流得到了有效控制,便于多个DC—DC变换器输出直接并联,从而实现了模块化,具有一定的实用性 相似文献
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一种多径环境下基于四阶累积量的阵列扩展测向方法 总被引:3,自引:0,他引:3
本文分析了基于四阶累积量的测向方法不能正确测量多径信号方向的原因,提出了一种多径环境下的基于四阶累积量的新型测向方法。该方法利用零点领处理方法抑制多径信号,然后采用四阶累积量进行阵列扩展测向。计算机模拟结果表明该方法在多径环境下具有良好的性能并且可能实现对足够多的信号进行测向。 相似文献