Electrochemical characteristic of chemical-mechanical polishing of copper with oxide passive film

1　INTRODUCTIONThankstoitslowresistivityandhighelectromi grationresistance ,copperappearstobeaverypromisingsubstituteforaluminumininterconnec tions[1] .However ,copperisverydifficulttopattern ,andonlychemical mechanicalpolishing (CMP)tech nologycanresolvethisproblem[2 ] .CMPwasinitiallyinvestigatedandopenedoutfrom 1980soverseas[3] ,anditisthebestandonlyglobalplanarizationtech nologyatpresent ,butkeepsholdofbusinesssecretsallthetime .Fayolleetal[2 ] researchedCMPprocessofcopperwhereFe(…     

低合金钢锤头的研制与应用

为提高石料破碎机锤头的使用寿命,经过多次试验摸索和现场工业性试验,成功研制出价廉物美的低合金钢锤头。结合锤头含碳量较低、合金元素少的特点,对其进行阶段式复合热处理。热处理后锤头头部工作表面硬度50~55HRC,柄部硬度33~42HRC,使用寿命为锻打钢锤头的3~4倍。     

低压铸造三维温度场的冷却边界条件处理

低压铸造模具结构比较复杂，存在多处冷却系统对模具进行强制冷却。对低压铸造的多种类型的界面根据其换热的特点作了大致分类。针对每种情况，考虑了冷却介质和冷却管道的个性参数，建立了相应的计算模型，并编制计算程序对实际铸件进行了模拟计算。     

机床液压系统故障树分析

应用故障树分析法对某厂一台机床液压系统的典型故障进行了故障树分析，取得了满意的结果。实践证明，将故障树分析法应用于机床液压系统故障诊断中是非常有效的。     

快淬非晶合金制备态磁各向异性研究SCIEI

本文详细研究了铁基、铁镍基和钴基非晶合金条带制备态的平面磁各问异性。测定了退火前后试样中各向异性的变化及各向异性常数K_(us)随温度的变化,得出K_(us)(T)∝M_s^2(T)关系,由此得出平面磁各向异性由应力各向异性和表面形状各向异性两部分组成。     

基于并行工程和网络计划技术的模具生产进度编制方法

在充分考虑模具生产的特点和生产活动之间并行性的基础上,建立了单副模具典型生产过程的细化网络图,提出了一种基于并行工程、网络计划技术和最优化生产技术(OPT,Optimal ProductionTechnology)的模具生产进度计划编制方法。通过算例及其结果分析,表明了方法的可行性和有效性。     

机床故障诊断系统知识表示的研究

针对所研究的机床故障诊断专家系统，以故障树分析法为基础，采用面向对象的事件知识表示方法。并以面向对象编程技术给出了知识表示的示例。分析了这种知识表示方法的特点。实践证明，这种知识表示方法在故障诊断专家系统中是确实有效的，而且这种表示方法融合了多种传统知识表示方法的长处，是一种值得研究与应用的方法。     

ZG20SiMn高温流变性能研究

在Gleeble-15000热力模拟实验机上测定了ZG20SiMn从300℃到固相线温度区间的流变性能，辨识出其符合流变学[H]-[N|S]模型以及流变参数。将流变学模型和拉伸实验得到的弹塑性模型进行了比较分析，结果表明流变学模型更适合描述铸件的高温力学行为。