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介绍了水冷反应室式MWPCVD制备金刚石膜装置的结构和工作原理,着重讨论了该装置长时间大功率稳定运行的措施。该装置在微波输入功率为3.0kW时能长时间稳定运行。用该装置成功地在硅衬底上沉积出金刚石膜。 相似文献
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在水冷反应室式MWPCVD装置中以CH4和H2为反应气体进行了金刚石膜的沉积实验,研究了反应气体的压强对金刚石膜中非金刚石碳相含量的影响。实验发现,当微波输入功率较小时,随着反应气压的上升,沉积膜中非金刚石相碳的含量单调下降;当微波输入功率较大时,沉积膜中非金刚石相碳的含量先随着反应气压的上升而降低,后又随着反应气压的上升而稍稍增加。 相似文献
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Autonomous Robots - Due to the probabilistic completeness and asymptotic optimality, the RRT* algorithm can find sub-optimal solutions and solve path planning problems effectively compared with... 相似文献
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本文介绍了按段多重一般正交多项式系及其基本性质,并把它们应用于参数可分离系统的参数辨识.由于采用了按段低阶正交多项式多重逼近技术,该方法具有计算量少、结果精度高、可递推计算及不需要被辨识参数的初始估计等优点.本文提出了两个算法,并成功地应用于发酵过程细菌生长动力学模型的参数辨识. 相似文献
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80.
己二酸生产工艺的新进展 总被引:12,自引:1,他引:11
介绍了生产己二酸的传统工艺及其改进,概述了硝酸氧化KA油的各种反应机理。概述了1,3-丁二烯经加氢羰基甲氧基化和氧化羰基化制己二酸的化学与工艺。介绍了BASF的主要工艺条件,并与DuPont工艺,ARCO工艺及Shell工艺作了较详细的比较。建议在开发新工艺的同时对传统工艺进行改造。 相似文献