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本文以微器件设计为对象,对微硅表面制造驱动的微器件并行设计方法学及相应的计算机辅助设计工具的开发逻辑进行了研究,提出了采用基于三层Web-ASP集成框架实现e-CAD原型工具的编程方案,其中,并行任务流管理与控制,微器件实例及设计资源库,微加工工艺规划及仿真,微器件设计评价等是该系统实现的关键要素,在此基础上将建立网上微器件设计中心,并通过应用服务机制,实现对微器件设计工具使用的商务化,以达到降低设计成本,加快MEMS产业化之目的。 相似文献
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预处理工艺对硬质合金与金刚石膜间粘结力的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
在两种经不同预处理的硬质合金YG8基底上,采用微波等离子体化学气相沉积法,在微波功率2kW,压强4.0kPa和6.5kPa,CH4和H2流量分别为1.6cm/s和100.0cm/s的条件下生长金刚石薄膜。利用X射线衍射检测了金刚石薄膜是否存在,用拉曼光谱分析了薄膜的质量,用金相显微镜观察了薄膜的洛氏硬度压痕,标定并比较了不同预处理工艺膜与基底的结合力。实验结果表明,不同的预处理方法对于粘结力的影响不大,最主要的因素是钴含量的多少。 相似文献
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烟气轮机特殊状态下的保护 总被引:3,自引:1,他引:2
从烟气轮机超速的极限开始 ,分别按照阀门的关闭时间为 1 .5s和 6s的两种典型状态 ,对烟机在联轴节断裂等特殊工况下的超速情况进行了分析。最后 ,对烟气轮机在特殊工况下的保护提出了建议。 相似文献
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适用于微机的核蒸汽发生器热工水力分析程序—SGTH—2 总被引:1,自引:0,他引:1
本程序用于计算核蒸汽发生器的热工水力分布参数以及一次侧流动压降、二次侧自然循环和稳态特性,将本程序的计算结果与法国对同型号蒸汽发生器的实测数据以及用 ATHOS 程序的相应计算结果进行比较,表明主要热工水力参数能令人满意地吻合。 相似文献
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