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隧道小孔中超薄SiO2的生长是EEPROM电路制造的关键工艺之一。采用SUPREM-Ⅲ工艺模拟程序对超薄SiO2的热生长进行了工艺模拟,经过大量的工艺实验及优化,确定了超薄SiO2的最佳生长条件,生长出的SiO2性能良好,完全可满足EEPROM研制的要求。 相似文献
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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
33.
介绍一种新型的恒通量的微滤膜———ISOFLUX 膜 ,该种膜的膜通量衰减比通常的微滤膜要小得多 ,对ISOFLUX 膜的原理和数学模型进行了推导 ,并给出了对牛奶进行冷杀菌过滤的结果 . 相似文献
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在聚全氟乙丙烯(FEP)中添加 TiO_2和 Al_2O_3,通过热压成型的方法制备了 FEP/TiO_2复合材料和 FEP/Al_2O_3复合材料,研究了氧化物添加量对复合材料介电常数、介电损耗和高频击穿性能的影响。结果表明,随氧化物含量的增加,复合材料的介电常数和介电损耗均增加;在同一添加量下,TiO_2对复合体系的介电性能影响较大。FEP/TiO_2复合材料的高频击穿性能随 TiO_2含量的增加而下降,在 TiO_2含量为4.0%(质量分数,下同)时,复合材料的损伤阈值已降为 FEP 材料损伤阈值的48.9 %。而 FEP/Al_2O_3复合材料的高频击穿性能随 Al_2O_3含量的增加而升高,当 Al_2O_3含量为1.2%时,复合材料的损伤阈值已增大到 FEP 材料损伤阈值的2倍,达到313 J/m~2。 相似文献
39.
思想政治工作管理科学化,既是思想政治工作实践的重要方面,也是思想政治工作理论研究的重要内容.我们电力行业在创建国际一流企业,特别是在建立现代企业制度的今天,企业管理的科学化水平有了明显的提高,特别是世界先进的管理理论逐步在取代传统的管理方式方法.但企业在思想政治工作等方面的管理仍大多沿用一些传统的管理方法,与企业的其它管理相比较既显脱节又显滞后.因此,运用现代管理科学理论进行企业思想政治工作管理显得十分重要而迫切. 相似文献
40.
地下连续墙在太钢老厂改造工程中的应用 总被引:1,自引:1,他引:0
结合某深基坑支护施工实例 ,介绍了采用多头潜水钻成槽机进行地下连续墙施工的基本原理、工艺流程及注意事项。指出该方案对于在老厂区改造工程狭窄场地条件下 ,解决深基坑施工保护附近建 (构 )筑物安全具有独特的优势 相似文献