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992.
LIGA工艺的发展及应用 总被引:5,自引:1,他引:4
介绍了LIGA(lithographie,galvanoformungandabformung)技术以及在此基础上开发出来的准LIGA(like-LIGA)技术、SLIGA(sacrificialLIGA)、M2LIGA(movingmaskLIGA)技术和抗蚀剂回流LIGA(PRLIGA———photoresistreflowLIGA)技术等。利用这一系列LIGA技术,可以生成具有高深宽比的复杂微结构,如微尖阵列、球形曲面、活动部件等,能较好地满足MEMS发展的需要。最后指出了目前这些方法存在的缺陷。 相似文献
993.
994.
995.
996.
对固原供电局管理信息系统(MIS)建设过程中出现的一些问题,进行了简要分析与归纳,指出解决问题的策略. 相似文献
997.
张朝伦 《西华大学学报(自然科学版)》2002,21(3):85-86
作者用Hardy空间H2 上的再生核方法刻画了一类解析Toeplitz算子的换位子 ,同时也导出了“ThecommutantofanalyticToeplitzOperatars”的结果。 相似文献
998.
999.
1000.