硅片传输机器人的发展及研究现状

本文综述了硅片传输机器人的发展历史,探讨了硅片传输机器人的典型结构,分析了硅片传输机器人的研究现状,并介绍了硅片传输机器人的典型产品.     

大型立式混流泵开式叶轮叶片的模态分析

对电厂中大型立式混流泵开式叶轮叶片的断裂事故，应用模态分析技术用实验方法测出了叶片的模态频率及其振型。找出叶片断裂原因是因发生二阶共振而引起疲劳破坏。此模态测试方法可直接在被测体上画出其各阶振动节线，为大型泵的开式叶轮叶片设计提供可靠参考依据。     

面向IC制造的轨道导引车系统

介绍面向IC制造的轨道导引车系统，综述该系统的发展历史及国内外的研究成果，分析轨道导引车的组成结构和工作原理，并对轨道设计技术、连续给电技术、定位技术、死锁避免技术和派遣技术五个关键技术进行探讨。     

玻璃基板搬运机器人的设计

讨论了FPD产业中玻璃基板搬运机器人的常用构型,确定了圆柱坐标型玻璃基板搬运机器人的设计方案.结合玻璃基板搬运机器人的设计过程和构型特点,着重介绍了玻璃基板搬运机器人R向伸缩模块、θ向旋转模块和Z向升降模块的功能及实现各模块功能的机械结构和运动机理,并以R向伸缩模块为例,从转矩匹配和转动惯量匹配两个方面校核了电机与负载的匹配性能.验证结果表明,玻璃基板搬运机器人所选电机与负栽的匹配性能良好,且R向伸缩模块的转动惯量具有周期性变化的规律.     

基于ansys的单层工业厂房地震响应分析

运用大型通用有限元软件ANSYS,采用其自带的APDL语言进行三维单层工业厂房建模,对单层钢结构工业厂房进行了抗震性能的时问历程分析,分析结构在地震作用下的变形和随地震波的内力响应情况等。     

录像机机芯零部件物流系统

本文介绍了我国最新引进的录像机机芯零部件物流系统的布局、控制、自动仓库和自动输送系统等。     

加工中心早期故障的两重威布尔模型研究

为了对加工中心早期故障进行有效的预测和控制,采集了26台加工中心从试运行开始的102组故障数据,并以此为基础,列出并比较了3种较常用的两重威布尔分布函数模型,从中选取分段威布尔函数作为拟合模型。为提高分段威布尔模型特征参数估计精度,提出迭代寻址求最优解法,以拟合精度为目标优化量,有效避免了时间分界点选取错误,提高了拟合精度,计算得出早期故障期大约持续4个月,与厂家反馈一致,并对分析结果进行了拟合优度检验和Laplace检验,检验结果符合要求。     

面向手功能康复训练的软体机器人设计

为解决现阶段软体机器人与人手贴合较差、自由度不够、驱动力小等问题,设计了一种带有双向弯曲模块和伸长模块、可实现多个自由度独立或耦合运动的软体机器人.利用有限元仿真分析方法建立了软体驱动器模型,融合多种柔性材料,保证驱动器可以提供足够大的驱动力.利用传感器实现了对弯曲特性的跟踪.实验验证表明:该软体机器人可以完成抓握训练...     

桁架机械手动态特性的有限元分析

通过对桁架机械手进行结构分析,应用有限元分析软件ANSYS建立了其参数化有限元模型,对整机进行了静力分析、模态分析和频响应特性分析,得出了整机的前6阶固有频率和相应振型,指出了桁架机械手结构设计的薄弱环节。结果表明,应用ANSYS可较精确地分析机械手的动力特性,为改进和完善设计提供理论依据,从而使机械手具有良好的动态特性。     

基于PMAC的硅片传输机器人控制器的设计与实现

在半导体制造业中,硅片传输机器人承担着硅片的精确定位、快速搬运等复杂任务,这对硅片传输机器人的控制器提出了严格的要求,因此对硅片传输机器人的控制模块进行系统的研究有着重要意义。本文以美国DeltaTauDataSystems公司的PMAC多轴运动控制器为例介绍了PMAC在硅片传输机器人控制器中的开发与应用,并以该公司的PMAC2-PC104型控制卡为核心,结合电气和气动回路,设计和建立了R-θ型(径向直线运动型)硅片传输机器人的开放式控制器,实现了硅片传输机器人的运动控制。