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微结构三维显微测量是研究微加工工艺和微尺度结构特性的主要测试手段.一种基于计算机微视觉的方法被提出用来对三维微结构进行显微测量.对微结构测试及构形系统的基本原理进行了研究,构建了微结构测试及构形系统的硬件和软件平台.从而实现了在光学显微镜下对微结构的三维观测[0].通过运用微结构测试及构形系统的硬件平台实现了对微结构高分辨率的观察测量、三维精确运动控制以及水平与竖直方向的精确制动.通过软件平台完成了对微结构的三维重构.课题利用微结构测试及构形系统对微结构进行了测试及重构.通过实验,证明了理论研究和系统的可行性,该研究在微结构的测试方面具有较大的理论意义和实用价值. 相似文献
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采用射频磁控溅射法在氧氩比为0.2的混合气氛中,分别在室温、100℃、200℃、250℃、300℃、350℃和400℃温度下,在P-Si(100)衬底上制备了HfO2薄膜,并用SEM、XRD和AFM研究了衬底温度与薄膜沉积速率对微结构的影响.结果表明:随着衬底温度的增加,薄膜沉积速率呈减小趋势.室温沉积的HfO2薄膜为非晶态,当衬底温度高于100℃,薄膜出现单斜晶相,随着衬底温度继续增加,(111)择优取向更加明显,晶粒尺寸增大,薄膜表面粗糙度减小. 相似文献
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为了探讨齿轮弯曲疲劳寿命计算问题,将齿轮疲劳总寿命分为两个阶段,即疲劳裂纹萌生寿命和裂纹扩展寿命.通过ADAMS软件仿真实验齿轮的工作情况,使其接近真实状况,得到齿轮载荷谱.根据齿轮载荷谱,利用有限元ANSYS软件分析在齿轮齿根危险截面处的最大应力.采用断裂力学、雨流法和Miner疲劳损伤累积模型,对考虑动载荷情况下的齿轮弯曲疲劳寿命进行预测,推导了齿根裂纹萌生期和扩展期的疲劳寿命计算公式.在高频疲劳试验机上对算例齿轮进行了双齿脉动加载齿根弯曲疲劳寿命实验研究,理论计算结果与实验结果基本吻合,验证了本文理论分析的正确性. 相似文献
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