层叠结构的Si0.65Ge0.35/Si红外探测器的微结构研究

采用定位的横断面透射电子显微术观察Ｐ＾＋－Ｓｉ０．６５Ｇｅ０．３５／ｐ－Ｓｉ异质结内光发射红外探测器的微结构。该器件光敏区由６层Ｐ＋－Ｓｉ０．６５Ｇｅ０．３６和５层ＵＤ－Ｓｉ层组成,每层都比较平整,各层厚度分别为６ｎｍ和３２ｎｍ,在Ｓｉ０．６５Ｇｅ０．３５／ＵＤ－Ｓｉ界面处存在应力场,但未到晶体缺陷,非晶ＳｉＯ２台阶上的Ｓｉ０．６５Ｇｅ０．３５和ＵＤ－Ｓｉ层是波浪状的多晶层,光敏区的边界处存在小于     

红外探测器中的异质界面和缺陷的研究

近年来,在遥感、遥测、制导、预警、夜视、深空监视、以及医学诊断等领域中,SiGe/p-Si异质结红外探测器及红外焦平面阵列技术已显示出重要的应用前景[1]。为了提高了探测器的量子效率,采用了叠层结构的发射极[2]。因此,器件的性能与其微结构、界面状况和其中的晶格缺陷有密切的关系。本文采用定位横断面试样制备技术对三层和六层叠层结构的红外探测器进行了观察,研究了界面的结构和确定了缺陷的特征。衬度像和电子衍射表明,p-Si衬底的表面平整,取向为[100]。衬底中未见晶体缺陷。Si0.65Ge0.35叠层被未掺杂(UD)Si层分隔开。Si0.65Ge0.35…     

P~+-Si_(1-x)Ge_x/p-Si红外探测器微结构的研究

随着遥感遥测科学技术的发展和军事上的需要，红外探测器及红外焦平阵列的应用日益迫切［１］。Ｐ＋－Ｓｉ１－ｘＧｅｘ／ｐ－Ｓｉ异质结内光发射红外探测器因其具有易和ＣＭＯＳ或ＣＣＤ读出电路实现单片集成，工艺简单，成本较低，可同时工作于３～５μｍ和８～１４μｍ...     

Bi—2223／Ag超导带材Ag—BSCCO界面的TEM研究

用ＴＥＭ研究了银包套Ｂｉ２２２３超导带材的Ａｇ／ＢｉＳｒＣａＣｕＯ（ＢＳＣＣＯ）界面。大多数界面平直，连接很好，２２２３相的（００１）面平行于界面；有台阶状界面出现，偶尔在界面上观察到半个２２０１单胞层。银与超导体之间不存在固定的位向关系。     

Transmission Electron Microscope Study of YBCO/CeO_2/Si Superconducting Multilayer Films

ＴｒａｎｓｍｉｓｉｏｎＥｌｅｃｔｒｏｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅＳｔｕｄｙｏｆＹＢＣＯ／ＣｅＯ２／ＳｉＳｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇＭｕｌｔｉｌａｙｅｒＦｉｌｍｓＬｉＨａｏ（李灏），ＬｉｕＡｎｓｈｅｎｇ（刘安生），ＧｕＨｏｎｇｗｅｉ（古宏伟），ＣｈｅｎＬ...     

二次电子成分衬度成像方法在异质结半导体材料和器件的微结构研究中 …

阐述了高分辨二次电子成分衬度像的成像原理，成像条件和实验方法，介绍了一种新的试样制备方法，讨论了各种制样方法的特点。以多层Ｐ＾＋－Ｓｉ２１－ｘＧｅｘ／ｐ－Ｓｉ半异质结内光发红外探测器为例，介绍了二次电子成发衬度像观察技术在异质结半导体材料和器件微结构研究中的应用。将这种技术与通常的透射电子衍射衬度方法进行了比较，讨论了它在异质结半导体材料和器件中的应用前景。     

Si（Ge）MOSFET器件微结构的研究

采用横断面的透射电子显微术，扫描电子显微术和高分辨电子显微学方法，研究了ＧｅＳｉ沟道ｐ－ＭＯＳＦＥＴ的微结构。观察表明，器件是由Ｓｉ基片／ＳｉＯ２非晶层／ＳＯＩＳｉ层／ＧｅＳｉ沟道层／超薄ＳｉＯ２非晶层／Ｓｉ细晶层／ＳｉＯ２非晶层／Ａｌ电极层等组成的；ＳＯＩＳｉ层工作区单晶性良好，很难找到缺陷，缺陷能效地被限制在工作两侧的缺陷聚集区；在ＳＯＳＳｉ层和ＧｅＳｉ沟道层之间存在着一些瓣状衬底，它可能是在     

铜锌合金锥套的扫描电镜失效分析

铁路电气化工程用的接触线端锚固线夹锥套 ,系采用Ｈ6 2黄铜制造 ,用于导电铜接触线的锚固。在使用过程中发生开裂破损 ,导致铜导线脱落。本文采用扫描电子显微镜、Ｘ射线能谱仪、金相显微镜等设备对其进行了全面的失效分析 ,通过对其断口特征的分析 ,加工工艺分析、受力分析 ,找出了该夹锥套的断裂原因。实验通过扫描电镜和Ｘ射线能谱仪 ,对断口进行了成分分析。在断口上发现大量的Ｓ ,少量的Ｃｌ等腐蚀性元素。同时还在断口上发现有Ｍｇ ,Ａｌ,Ｓｉ,Ｋ ,Ｃａ,Ｔｉ,Ｆｅ等非基体元素。从断口形貌上可以看到 ,试样的断口呈脆性断裂的颗粒状…     

扫描电镜EBSD装置

在扫描电镜中安装背散射电子衍射装置并接收分析材料的晶体学信息，是80年代末兴起的一种技术，用该技术可以做多方面的工作可以顺利解决X射线衍射和透射电镜电子衍射无法解决或难于解决的问题。北京有色金属研究总院在国家科技部的支持下，成功地研制了扫描电镜背散射衍射接收和分析装置。     

水力旋流器用于高含油油水混合液分离的试验

在脱油型水力旋流器的基础上，通过改变部分几何参数设计试制的预分离水力旋流器能适应处理含油量小于２０％的污水的要求。现场试验表明，入口含油浓度Ｃｉ在６％～１５％之间，分流比Ｆ＝１．３Ｃｉ，处理后水的含油量可降至０．５％以下，底流仍有０．３５ＭＰａ的压力，分离效率可达９７％，能满足油田生产的使用要求。