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81.
等离子增强化学气相沉积制备氧化硅薄膜的质谱诊断研究 总被引:1,自引:0,他引:1
以六甲基二硅氧烷((CH3)3-Si-O-Si-(CH3)3,HMDSO)为单体,采用等离子增强化学气相沉积技术制备氧化硅薄膜,研究引起薄膜生长的前驱体、中间产物及活性自由基或分子.通过四极杆质谱仪对气相中的中间产物及活性粒子进行原位诊断,进行了不同功率、气压及O2与HMDSO比例(X)等对它们含量的影响研究.实验发现:高功率,低气压,及高O2含量有利于有机硅化合物的裂解.我们认为氧化硅沉积过程中质荷比为147的离子是气相反应形成含硅粒子的主要前驱体,对薄膜的形成起主要作用. 相似文献
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以甲烷为反应气体,氩气为辅助气体,通过大气压介质阻挡放电等离子枪,制备纳米类金刚石.在此过程中,利用发射光谱对甲烷等离子体中产生的活性粒子进行光学发射特征的原位诊断.通过对检测到的发射光谱谱图的研究,证实了CH、C2、Hα等自由基粒子的存在,研究了不同的实验参数,如放电电压和气体流量对CH活性粒子发射强度的影响,并由此分析了甲烷可能的离解过程,同时计算了不同条件下的电子温度.结果表明,随着输入电压及CH4流量的增加,CH自由基的发射强度随之增加.根据掺入甲烷的Ar原子谱线计算出电子温度,其范围在0.4eV~0.6eV之间,而且随着输入电压及气体流量的增加而降低. 相似文献
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为了实现对特定要求导电油墨配制的配前指导,建立了油墨等效电阻率与颜料颗粒半径、颗粒间距、颗粒与溶剂(连结料)电阻率等参数之间关系的理想随机数学物理模型。采用该模型对两种导电油墨进行了实验验证,模型预测结果与实验结果基本吻合。运用该模型研究了油墨颜料颗粒的精细程度及颜基比对导电油墨导电性能的影响,结果表明,颜料颗粒越精细、颜基比越小,等效电阻率越大。 相似文献
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目的 为解决印前印刷参数(印刷速度和印刷压力等)的选择问题,提出油墨渗透压力分布的级数解法.方法 考虑纸张的压缩变化,利用一维渗流方程导出纸张中油墨渗透压力分布的时空演化级数解;基于本级数解和实验数据,对印刷过程中油墨渗透压力分布进行数值实验,建立基于实验参数的油墨渗透压力分布时空演化方程.结果 绘制出了可压缩纸张中油墨渗透压力分布时空演化曲线,实现了印刷压力分布的时空演化模拟.结论 得到了油墨在可压缩纸张中渗透压力的级数解解析方法,可以实现油墨渗透压力分布时空演化的定量解析计算与模拟,为印前印刷参数的选择与设计提供了理论依据. 相似文献
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89.
7月10日晚,东方卫视《中国达人秀》第二季总决赛终于在上海八万人体育场落下了惟幕。最终,“街舞达人”卓君获得。2011年度中国达人?大奖。 相似文献
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Plasticizers that are generally used in plastics to produce flexible food packaging materials have proved to cause reproductive system problems and women’s infertility.A longterm consumption may even cause cancer diseases.Hence a nano-scale layer,named as functional barrier layer,was deposited on the plastic surface to prevent plasticizer diethylhexyl phthalate’s(DEHP) migration from plastics to foods.The feasibility of functional barrier layer i.e.SiO x coating through plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD) process was then described in this paper.We used Fourier transform infrared spectroscopy(FTIR) to analyze the chemical composition of coatings,scanning electron microscope(SEM) to explore the topography of the coating surfaces,surface profilemeter to measure thickness of coatings,and high-performance liquid chromatography(HPLC) to evaluate the barrier properties of coatings.The results have clearly shown that the coatings can perfectly block the migration of the DEHP from plastics to their containers.It is also concluded that process parameters significantly influence the block efficiency of the coatings.When the deposition conditions of SiO x coatings were optimized,i.e.50 W of the discharge power,4:1 of ratio of O 2:HMDSO,and ca.100 nm thickness of SiO x,71.2% of the DEHP was effectively blocked. 相似文献