常压微波等离子体炬装置的研究及应用进展

常压微波等离子体炬有着优异的性能,具有广泛的应用前景,常压微波等离子体炬装置的研究受到研究人员和工业界的广泛关注。文章对常压微波等离子体炬的性质、装置及应用等方面的研究成果进行了简要概述,着重阐述了常压微波等离子体炬装置的基本原理,对各种装置的优、缺点进行了分析。最后详细讨论了常压微波等离子体炬装置的应用和今后研究方向。     

碳氧比对金刚石薄膜生长的影响

采用微波等离子体化学气相沉积法,以H₂/CH₄/CO₂为混合气源,通过改变气源碳氧比,探讨了碳氧比对金刚石薄膜生长的影响。利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和Raman光谱表征金刚石薄膜的表面形貌、晶粒取向和结晶质量。结果表明,随着C/O比的降低,金刚石膜表面形貌由原来的（100）面为主转向（111）面为主的金字塔形,薄膜质量有所提高,内应力降低。     

MPCVD法制备纳米金刚石薄膜的研究及应用进展

通过介绍不同气源和相关工艺参数（温度、功率等）对MPCVD法制备纳米金刚石的影响,并对部分学者的研究成果进行简述。然后简要概括了MPCVD纳米金刚石在各种窗口、宽禁带半导体功率器件以及生物医学中的应用,最后对纳米金刚石未来的发展做出展望。     

圆柱形微波多模烧结腔烧结Al2O3陶瓷的性能

应用微波加热技术进行高纯Al2O3陶瓷烧结是一种理想的选择.本文使用一种新型的圆柱形微波多模烧结腔体进行了Al2O3陶瓷的烧结研究,该设备可在短时间内达到较高的烧结温度,并能实现坯体的整体烧结.分别对纯Al2O3粉体和Al2O3/MgO混合粉体进行了烧结实验,结果表明,添加MgO作为助烧剂烧结得到的陶瓷试样的相对密度高于纯Al2O3粉体烧结得到的陶瓷试样,在1 700℃下保温40 min,其相对密度可以达到理论密度的97.8%,维氏硬度达22.3 HV/GPa.从SEM图中可观察到试样微观结构良好,晶粒大小均匀,致密化程度高.     

氮气对纳米金刚石膜的生长结构及晶界处H含量的影响

采用 MPCVD 技术,研究了 CO₂ -CH₄ -N₂ 体系中 N₂ 对纳米金刚石膜生长状态及晶界处 H 含量的影响。 利用 SEM,XRD,Raman,FTIR 及 TEM 对纳米金刚石膜的形貌、结构和质量进行研究,并利用 Raman 及 FTIR 对晶界处 H 的含量进行计算分析。 结果表明,N₂ 流量的增加会在促使纳米金刚石膜的晶粒团聚体从球状逐渐转变为针状的同时减小晶粒尺寸,并使择优取向由<111>转变为<110>。 随着 N₂ 流量的增加,纳米金刚石膜的质量也随之降低,但晶界处的 H 含量逐渐上升。 具有针状晶粒团聚体的纳米金刚石膜具有明显的金刚石相和晶体石墨相。 N₂ 流量的增加不仅可以有效降低纳米金刚石膜的晶粒尺寸,改变晶粒的团聚形态及择优取向,还可以显著增加晶界处 H 的含量,促进石墨相的生成。     

一款2.4GHzWiFi频段FBAR带通滤波器设计

该文设计了一款2.4 GHz WiFi频段(2 401~2 483 MHz)薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器。采用一维Mason电路模型,在ADS中搭建了阶梯形滤波器电路;在HFSS中建立了封装结构和测试电路有限元电磁模型,并在ADS中完成了联合仿真设计。通过微机电系统(MEMS)工艺制备与测试,滤波器在2 401~2 483 MHz频段的插入损耗≤2.2 dB。在2 520~2 900 MHz处,带外抑制≥40 dB,滤波器体积仅1.1 mm×0.9 mm×0.65 mm。     

油田化学用2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸聚合物的研究及应用

介绍了油田化学用2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸(AMPS)聚合的合成方法,综述了2004—2012年AMPS聚合物用作钻井液添加剂、油井水泥添加剂、压裂液稠化剂、阻垢剂、缓蚀剂、水处理剂、驱油剂等方面的应用,并提出了相应的建议和设想。     

高功率MPCVD中氧气对金刚石膜生长的影响研究

采用自制10 kW微波等离子体装置,在CH₄/H₂气源中添加不同浓度O₂,探讨了O₂对金刚石薄膜生长的影响。利用扫描电子显微镜、激光拉曼光谱仪以及X射线衍射仪对金刚石薄膜的表面形貌、结晶质量以及晶粒取向进行了表征。结果表明,O₂浓度在0～0.9%范围内,所制备的金刚石薄膜品质随着O₂浓度的提升逐渐升高,当O₂浓度达到0.9%时,所制备的金刚石薄膜品质最好,其杂质含量低,金刚石半高宽值达到6.2 cm^-1,且金刚石晶粒基本表现为（111）面生长,具有较高晶面取向。但当O₂浓度超过到1.0%后,金刚石的生长会遭到破坏。