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71.
<正> 每一代新的半导体芯片都具有更精细的结构。因此,生产线通常也就需要更新的光刻设备。为组建经济实用的生产线,就必须考虑几个因素,其中很多因素在一定程度上很容易从可选设备的指标中看到,但另一些因素却比较复杂,仅从技术指标中不易得到。 本文论述最为复杂的光刻要求,即层间套刻精度O/L。O/L是很复杂的,它不仅受设备特性的影响,还受掩模精度、对准标记质量、甚至受由工艺引起电子形变的影响。由于这种多重的依赖性,尽管O/L经常出现设备手册中,但却不能只定义为设备的特性指标。 相似文献
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隧道工程施工中应注意的问题 总被引：3，自引：2，他引：1
通过对海南省东线高速公路大茅山隧道施工的全程监理,阐明了在施工中应重点注意的几个问题,在此基础上,总结出隧道工程质量监督中必须做到的几点,以确保隧道工程施工安全及工程质量. 相似文献
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