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为了提高刻蚀的均匀性, 对400mm反应离子刻蚀(RIE)腔室建立了气体流动的连续流体模型和热传递模型, 研究了反应腔室内压强、流速和温度分布。冷却板恒温285K时, 依次改变入口流量和出口压强, 分别分析了腔室内部基片晶圆附近的流速、压强、温度的分布; 依次改变极板间距离(30mm~60mm)、进气口直径(300mm~620mm)、抽气口直径(50mm~250mm), 分析了反应腔室内气流和温度分布。结果表明, 压强分布呈现出边缘低中心高的特征, 流速呈现边缘高且中心低的特征, 且在小流量时压强的均匀性较好; 压强分布的均匀性随腔室极板间距离增加而有所提高, 且随腔室气体出口面积减小与进口面积增加也有所提高; 基片晶圆上方附近处温度场大面均匀、稳定, 几乎不受入口流量波动变化的影响, 热稳定性良好。该研究对大口径RIE腔室结构设计改进及对大口径反应离子刻蚀工艺控制具有重要意义。 相似文献
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用频偏仪测量调频波的频偏时,在输入纯正弦信号调制的调频波后,由于仪器本身存在非线性,通过混频器、鉴频器、低频放大器后会引起所谓解调失真,它是频偏仪性能的一项指标。本文介绍用于测量频偏仪解调失真的互调法,该法利用双音频调频,然后进行解调,并测量因通过频偏仪后所产生的互调成分,用以表征它的失真。 相似文献
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从理论和实验上研究了半绝缘掺铬砷化镓(GaAs:Cr)晶体在1.06μm波长处的两种简并三波混合的增益特性。利用位移光栅及外加电场等技术,实现了双信号独立的纯放大,利用双泵浦提高了单一信号的放大倍数。 相似文献
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张景文 《数字社区&智能家居》2010,(12)
该文简述学校无线网络存在的安全隐患,列举了保护无线网络安全多种策略和相关技术,并对这些技术进行分析和总结,提出了一个综合性的校园无线网络安全方案。 相似文献
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针对目前家用太阳能热水器功能单一、操作复杂、控制不方便等特点,本文提出了一种新型的太阳能热水器控制系统设计方案.根据太阳能热水器对控制系统的要求,以MCS-51单片机为中心控制单元,采用DS12C887实时时钟,设计了一种太阳能热水器智能控制系统,给出了系统硬件设计及软件实现方法.该系统具有时间、温度、水位设定与控制功能,且具有良好的抗干扰性能. 相似文献
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1 引言 一般大中型企业建台初期都采用全频道系统和300MHz邻频系统,经过多年的运行,系统中各类设备及器件技术性能都已变差,电缆也已老化,图像质量逐步下降。另外新住宅及终端用户不断增加,干线分配不断延长,超出了系统原设计能力,再有上 相似文献