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从90 nm技术节点开始,等离子氮化SiON栅氧化层被广泛用作先进的CMOS器件制造。作为传统SiO2栅氧化层的替代材料,SiON栅氧化层因其具有较高的介电常数而能有效地抑制硼等栅极掺杂原子在栅氧化层中的扩散。氮化后热退火处理(Post Nitridation Anneal,PNA)是制备等离子氮化SiON栅氧化层的一个重要步骤,主要用于修复晶格损伤并形成稳定Si-N键,同时在氧化氛围下通过界面的二次氧化反应来修复SiO2/Si界面的损伤。本文通过对传统栅氧制备工艺中PNA单一高温退火工艺的温度、气体氛围进行优化,提供了一种通过提高栅氧化物的氮含量来提其高介电常数的方法。实验数据表明,与传统的制备方法相比,采用本方法所制备的SiON栅氧化层中氮含量可以提高30%以上,栅氧界面态总电荷可减少一个数量级,PMOS器件的NBTI寿命t0.1%和t50%可分别提高15.3%和32.4%。 相似文献
112.
本文介绍了视频代码转换机的基本原理,提出了一种采用输入运动矢量重复使用模式的高频代码转换方法,并对实验结果进行了分析和讨论。 相似文献
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Optically transparent alumina ceramics were fabricated by conventional process and sintered without pressure in H2 atmosphere. The results indicate that relative densities of alumina specimens increase to theoretical densities (T. D. ) with increasing content of La2O3. With increasing holding time during sintering, much less pores and larger grains were found in the sintered alumina samples. Higher transmittance was achieved in alumina codoped with MgO and La2O3 as compared with that doped with MgO only. The total-transmittance of alumina sample is up to 86% at twavelength range of 300 - 800 nm. 相似文献
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桥架是桥式起重机的重要组成部分,用以支撑桥式起重机整机的机械、电气设备及被起升的重物,其强度及刚度的校核是桥式起重机设计和制造中的重要因素之一.通过理论计算和Marc有限元仿真方法对桥式起重机桥架结构进行静力学刚度和强度分析,得到桥架结构在极限工况下的承载应力大小及分布状况,对桥架进行强度及刚度校核,可为在役桥式起重机结构的安全性和可靠性评估提供理论支撑. 相似文献
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