PECVD法沉积SiOxNy及其性质研究

本文采用PECVD技术制备了SiO_xN_y薄膜。用光电子能谱仪和红外光谱仪等对薄膜的结构、组成和其它物理性质作了测量。对温度、功率等工艺参数对薄膜性质的影响作了研究。结果表明,该薄膜是一种非晶态无序结构的、具有良好的抗腐蚀和掩蔽特性的电绝缘介质膜。     

纳米晶SnO_2气敏薄膜的制备与表征

以 Sn( OH) 4 水合胶体为原料 ,采用溶胶 -凝胶方法在 Si片上制备了 Sn O2 纳米晶薄膜 ,利用差热、热重、X光衍射以及原子力显微镜对薄膜的合成以及特性进行了分析 ,结果表明 :在60 0℃条件下烧结结晶的纳米晶薄膜表面平整 ,具有金红石结构 ,平均粒度在 1 0 nm左右 .以该薄膜为敏感体采用平面工艺制成的 FET式气敏元件在常温下对乙醇蒸汽具有非常好的选择性 .     

La_(0.7)Sr_(0.3)FeO_3纳米晶薄膜的制备及FET式气敏元件的研制

采用溶胶凝胶工艺 ,合成出纳米晶La0 .7Sr0 .3FeO3薄膜 ,薄膜为钙钛矿结构 ,平均粒径在 4 0nm左右。利用该薄膜采用平面工艺制作出微米尺寸、室温工作的La0 .7Sr0 .3FeO3纳米薄膜栅OSFET式气敏元件 ,并对其气敏性能进行了测试 ,发现器件的漏电流在乙醇气体中增大 ,在氮氧化物中降低。     

纳米钛酸钡及其复合湿敏材料的IR与XPS谱分析

由纳米钛酸钡与高分子季胺盐型丙烯酸树脂（RMX）构成的复合材料的湿敏性能优于纳米钛酸钡，对纳米钛酸钡及其复合湿敏材料的红外光谱（IR）与光电子能谱（XPS）进行了分析和比较，复合材料的IR谱基本是钛酸钡和RMX的IR谱的结合。在XPS谱中，两类湿敏材料的O(ls）峰都是由晶格氧O1和吸附氧Oa两峰构成，复合材料的Oa/O1比大于纳米钛酸钡，在O(1s），Ba(3d）和Ti(2p）谱中，复合材料的主峰同纳米钛酸钡相比，向低结合能方向移动0.3-0.6eV，这是因为复合材料中纳米与有机材料边界区域的晶格结构产生畸变，使其结合能略有减弱。     

热喷涂法制作NiO热敏材料

本文介绍了采用热喷涂法制备以 NiO 为主体成分的薄膜材料,并根据其性能制作热敏电阻.用5DX—FT—IR 测定了不同工艺条件制备的薄膜样品的红外吸收光谱.用差热分析方法测量了样品的温度稳定性。结果表明,这种方法制得的氧化镍薄膜热敏电阻在0～200℃的温区内。具有较好的线性特性。     

柠檬酸盐法合成的纳米晶La_0.7Sr_0.3FeO_3材料酒敏特性研究

用柠檬酸盐法合成了纳米晶Ｌａ０．７Ｓｒ０．３ＦｅＯ３材料，平均粒度在１０ｎｍ左右。检测了用该材料制成的气敏元件的酒敏特性，发现其不仅灵敏度高，抗干扰性强，响应速度快而且具有相当好的电阻值稳定性以及与之相关的测量准确性和稳定性。     

Nasicon材料的制备及气敏特性研究

采用高温固相烧结方法,制备了Ｎａｓｉｃｏｎ固体电解质材料,并用ＩＲ、ＸＲＤ等手段对材料的组成和物相结构进行了表征。在材料电阻率随温度变化的测试结果基础上,进上步以所合成的Ｎａｓｉｃｏｎ材料作离子导体、ＢａＣＯ３－Ｌｉ２ＣＯ３复合盐作第三电极材料制成ＣＯ２传感器,考察了材料的气敏性能。结果表明材料对ＣＯ２具有良好的气敏特性及抗水蒸汽干扰性能。     

纳米TiO2薄膜的制备及其紫外光吸收性能的研究

采用sol-gel法制备TiO2薄膜。用XRD、AFM对其结构及表面形态进行了表征。用UV、SPS测试其光谱吸收、表面光伏特性。结果表明,在高软化温度ITO玻璃上得到比较好的锐钛矿型TiO2薄膜,且具有很强的紫外光吸收特性。随着烧结温度的升高,锐钛矿晶型更加趋于完整,使得紫外吸收曲线的带边蓝移。在紫外光照射下,所制得的薄膜有明显的光伏效应。较之粉体材料,吸收峰更趋向紫外区。为进一步研制新型紫外光传感器提供实验依据。     

纳米晶La_(1-x)Sr_xFeO_3薄膜的制备与表征

采用Sol－gel工艺在石英玻璃和硅衬底上成功地制备了纳米晶La1-xSrxFeO3（x=0～0．4）系列薄膜，薄膜为钙钛矿结构，平均粒度在30nm左右。XPS结果表明，随着Sr含量的增大薄膜表面吸附氧含量增大。     

TiO2薄膜紫外探测器的光电特性

采用溶胶-凝胶法（Sol-Gel），在Si衬底上生长了TiO2纳米薄膜，并用此材料制备了光电导型的TiO2薄膜紫外光探测器．通过测量探测器的光电流与照射光波长的关系，可以看出，TiO2探测器在紫外波段230～280nm有很明显的光响应，光电流谱线近乎平坦；在280nm处光响应出现明显下降，且跨度较大，直至360nm又再次趋于平坦．测量了250nm波长处的响应度和外加偏压的关系，发现响应度随外加偏压的增加而增加，5V时达到饱和．