浅谈多晶硅项目设备管道的清洗方法

结合某3 000 t/a多晶硅改良西门子三氯氢硅还原生产法项目,说明设备管道高清洁度要求的重要性,阐述了在安装施工过程中对其不同材质、类型、质量要求的设备管道进行清洗的喷淋法、循环法、浸泡法、擦拭法等相应的清洗工艺方法、关键工序、适用对象及质量验收标准,从而保证了此多晶硅项目的顺利投产,产品质量也达到了设计要求。