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41.
离子束刻蚀碲镉汞的沟槽深宽比改进 总被引:1,自引:1,他引:0
高深宽比离子束刻蚀技术是实现碲镉汞红外焦平面探测器的关键工艺技术.国内应用最广泛的双栅考夫曼刻蚀机束散角较大,沟槽深宽比较低.针对Ar离子束刻蚀机,尝试了三种提高深宽比的方法:选择不同的光刻胶做掩模、改变刻蚀角度和使用三栅离子源,并通过扫描电子显微镜(SEM)观察了碲镉汞刻蚀图形的剖面轮廓并计算了深宽比.分析了这些工艺方法对刻蚀图形轮廓的影响,获得了一些有助于获得高深宽比的离子束刻蚀沟槽的实验结果. 相似文献
42.
43.
简要分析路基与桥台连接处的沉降差,结合秦沉客运专线工程实例,介绍采用级配碎石处理路桥过渡段的施工工艺,检测标准和方法,提出使用该处理方法的优点。 相似文献
44.
以转炉钢渣为原料,通过高温重熔获得不同碱度渣样并开展H2O/CO2氧化试验,在获得H2/CO气体能源的同时改善渣样磁性,提升渣综合利用率。试验结果表明,随着碱度增加,析出主要物相从橄榄石到镁蔷薇辉石最终向硅酸二钙转变,与此同时,固溶在其中的RO相逐渐溶出。相同亚铁含量下,高碱度渣样能够大幅度改善氧化反应效率,碱度1.83渣样最高产气量为H2 (32.3 cm3/g)、CO (22.1 cm3/g),反应率分别达到了83.7%、57%,碱度1.13的渣样反应率分别仅为 40.5%、32%。氧化后的渣样磁选效率均有提高,碱度2.13渣样从14.85%增加到78.75%。 相似文献
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46.
47.
网络取证日志分布式安全管理 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一种网络取证日志分布式安全管理方法,通过日志代理和管理网关将分散的异构的日志收集并存储到多个管理节点。该管理节点采用信息分配算法IDA将日志记录分散为n份,计算所有分片单向散列值,并同该节点相应存储分片关联存储。取证分析时,管理节点根据网络入侵事件多特征关联性,利用任意m(mn)个节点提取相关日志记录分片重建原有信息。由于每个分片携带所属日志记录所有分片的单向散列值,通过验证可以保证重构日志记录的完整性。 相似文献
48.
复杂山地大气环境三维建模与仿真方法 总被引:1,自引:0,他引:1
本文主要探讨复杂山地大气环境三维建模与数值仿真方法,介绍了三维数值地形图的概念及其表示方法,建立了相应的数据文件格式。针对某铀矿井尾气扩散实际问题创建了相应仿真模型,进行了仿真计算,并把仿真结果与实验结果进行了对比。从网格划分和仿真计算结果来看,证明这种方法简单且实用。 相似文献
49.
采用 PTFE平板膜组件 MBR与 A2O相结合的一体化设备,将之应用于浙江省水源保护地农村生活污水的终端处理工艺:叙述了该工艺的流程,分析了其在污染物去除、运行维护等各个方面的特点。运行结果显示该工艺出水水质能够稳定符合GB 18918—2002的一级 A标准,部分指标能够达到 GB 3838—2002的Ⅳ类水标准;实际出水中的 COD、NH3-N 和 TP 均值分别为 21.6、1.12、0.35 mg/L,粪大肠菌群数平均为 103 个/L。表明该工艺用于处理水源保护地的农村生活污水效果能满足水源地水源保护的高要求。且该工艺运行维护简单,能实现远程操控、自动运行,其推广应用可望为水源地之农村生活污水处理做出积极贡献。 相似文献
50.
HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在HgCdT e光伏探测器件S iO2+ZnS复合介质膜钝化中,引入O+2清洗和A+r刻蚀两种等离子体处理工艺,大大提高薄膜附着力,成功制备出优良的光伏器件。对处理前后的样品进行场发射扫描电子显微镜扫描、原子力显微镜扫描和二次离子质谱测试后发现,O+2清洗对去除样品表面的残余光刻胶效果显著;而A r+刻蚀使ZnS表面更为粗糙,增加了成核中心,使S iO2和ZnS表面互相渗透,增强了两层介质膜的附着力。 相似文献