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981.
形成SOI结构的ELO技术研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文研究了在常压外延系统中,利用 SiCl_4/H_2/Br_2体系在SiO_2上外延横向生长(ELO)单晶硅技术.比较了Br_2和HCl对硅的腐蚀速率,发现前者对娃的腐蚀速率约比后者慢一个数量级,指出Br_2的引入有着重要意义.给出了Br_2和H_2对Si和SiO_2的腐蚀速率曲线,讨论了外延横向生长速率对SOI结构的材料表面形貌的影响.在该 SOI膜上制造了 MOS/SOI器件,其N沟最大电子迁移率为360cm~2/V.s(沟道掺杂浓度为 1×10~(16)/cm~3),源-漏截止电流为 9.4×10~(-10)A/μm. 相似文献
982.
利用有效相对增益方法分析电气距离、光伏出力大小对青海海西电网大型并网风电场、光伏电站、柴拉直流系统间交互作用的影响。首先介绍有效相对增益矩阵分析交互作用的算法,然后将大型风电场、光伏电站进行等值,以便进行暂态仿真分析。最后搭建青海海西电网暂态仿真模型,计算风电场、光伏电站、柴拉直流系统间有效相对增益矩阵。结果表明,3个系统间电气距离越小、交互影响越大,同时在地区电源总出力一定时,随着常规电源出力的减小、光伏电站出力相应增大,系统间的交互影响越大,仿真分析验证了所提方法的准确性。 相似文献
983.
介绍一种基于Winkler地基模型和剪切位移法的群桩沉降轴力简化分析方法。采用简化方法对风力机基础工程实例进行分析,并与沉降量实测数据进行对比。分析表明,该方法考虑了群桩效应以及土体的分层特性,计算较简便,且计算精度满足工程要求,在风力机基础竖向力学分析计算中得到较好应用。 相似文献
984.
985.
利用有限单元法计算某高拱坝正常荷载至极限承载力的超载过程,通过对超载过程中单元应变能变化规律的统计分析,发现在结构超载初期,单元应变能增长较快;单元应变能变化率较大的单元,在单元百分率所占比例较高,随着荷载的逐渐增大,单元应变能增长变缓;当结构达到极限承载力时,应变能变化率较小的单元在单元百分率中所占比例较高;单元应变能概率分布在超载过程中先集中再分散,且单元应变能越集中,表明结构越具有较大的超载能力,单元应变能变化率越分散,表明结构越接近超载极限;单元应变能变化率在超载过程中先分散再集中,且单元应变能增长率越分散,表明结构越有较大的超载能力,单元应变能变化率越集中,表明结构越接近超载极限。 相似文献
986.
987.
988.
989.
光伏建筑一体化在国外发展良好。国内各项政策到位和光伏产业迅速成长将使光伏建筑一体化市场逐步启动。本文探讨了杭州在这方向上具有的优先条件和发展的可能性。 相似文献
990.