光学和电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术

介绍如何实现光学和电子束曝光系统之间的匹配和混合光刻的技术,包括:(1)光学曝光系统与电子束曝光系统的匹配技术;(2)投影光刻和JBX-5000LS混合曝光技术;(3)接触式光刻机和JBX-5000LS混合曝光技术;(4)大小束流混合曝光技术或大小光阑混合曝光技术;(5)电子束与光学曝光系统混合光刻对准标记制作技术.该技术已成功地应用于纳米器件和集成电路的研制工作,实现了20nm线条曝光,研制成功了27n m CMOS器件;进行了50nm单电子器件的演试;并广泛地用于100nm化合物器件和其他微/纳米结构的制造.     

修井单流阀的改造及应用

单流阀是修井起下管柱作业时防喷、防溢流的配合工具。原先的单流阀,存在结构复杂、易损坏、损耗泵压、污染大的缺点。改造后的浮球式单流阀,在中原油田的六口井现场应用中均取得良好效果。它结构简单、密封效果好,具有无泵压损耗、无污染、寿命长的特点。     

过硫酸铵-砷铈催化分光光度法测定强化碘盐中碘的含量

目的：寻找一种可以对强化碘盐中碘含量进行精准快速检测的方法。方法：应用AUTOCHEM 3100全自动碘分析仪,采用过硫酸铵-砷铈催化分光光度法对强化碘盐中碘进行定量检测。结果：通过对消解时间优化,在最佳实验条件下,标准曲线线性较好(标准曲线r=0.9998),精密度均小于10%,方法的检出限0.42 mg/kg,不含碘的盐加标回收率范围在99.0%～105%,标准物质测定结果均在证书给定标准值范围内,结论：该方法检测强化碘盐,准确率高、稳定性好、价格低廉,试剂用量明显减少,节约检测成本,适用于大批量强化碘盐样品的检测。操作方便,减轻实验人员工作量,亚砷酸用量的降低减少了对人员和环境的危害。     

CFB锅炉一次风道振动撕裂现象的分析及处理

1情况概述我厂CFB锅炉(260t/h)投运不到3个月,一次风机出口附近冷段风道先后出现了数10道裂纹,最长达0.5m,漏风量达5000m3/h,风道振动又带动附近钢架产生振动,成为严重安全隐患。虽然已采取措施对裂纹漏点处进行抢修,阻止裂纹继续扩     

TDRS系统中群时延特性问题研究

本文重点是讨论群时延与通信链路误码性能的关系．并通过计算机仿真得到了误码率与群时延的关系曲线．最终的结论对工程实现具有重要的参考价值。     

应用超声波底脉冲多次反射法检测金属材料“相对低强度区”的试验研究

一、前言对金属材料及其制品质量判定的方法,一般说来,材料经取样检验:化学成分、金相组织、晶粒大小、力学性能等符合技术要求。经无损检测材料内部和表面未有缺陷存在,就可以说材料是完好的。在我们遇到的破断事故中,有材质为40CrNiMoA电渣重熔高强度钢经锻造加工的航空构件,10MnS~1Cu锅炉板,45钢的齿轮,机车车辆轮轴,以及球墨铸铁曲轴,高压阀体等等。这些构件大都是在低于设计许用应力和安全使用期限     

9097型硅酸根分析仪的应用

广东省粤电集团沙角A电厂3号机组汽水分析系统中炉水在线硅酸根分析仪（简称硅表）运行达十年,由于仪表本身结构及使用寿命所致,部分电子元件老化、接头经常接触不良,造成测量数据不稳定、误差较大。采用9097型硅酸根分析仪能大大提高测量的准确性、稳定性、可操作性等,并减少维护。     

细粒金刚石回收半工业试验

<正> 金刚石是国家稀缺的矿产资源,其价值昂贵,用途广泛。我国原生金刚石矿中,细粒级金刚石(-0.5+0.2毫米)所占比例较大,如计入次生破碎部分,可占岩管储量的10—45％。目前国内外金刚石最小回收粒径为0.5至1.6毫米,我国在矿床评价时要求金刚石最小回收粒径为0.2毫米,虽然将0.5毫米至0.2毫米粒级金刚石作了初步评价,但由于技术、经济等原因,在矿山生产上仍将回收粒径下限定为0.5毫米,这部分金刚石进入尾矿,造成国家稀缺资源的损失。为了充分利用金刚石矿产资源,两年来我们先后对浮选、碱熔、重液等十二种回收细粒级金刚石的方法进行了考查,其中浮选、碱熔、重液分选效果最好。在小型试验、     

碱解法测定乳与乳制品中L-羟脯氨酸的含量

目的 建立了使用聚四氟乙烯带盖水解管,以NaOH溶液为水解液的碱解法测定乳与乳制品中L-羟脯氨酸含量(L- Hydroxyproline, L-Hyp)。方法 将样品置于10 mL水解管中,加入6 mL 2.5 mol/L NaOH溶液在110℃烘箱中加热2小时,水解出的L-Hyp经氯胺T氧化后与与对二甲氨基苯甲醛反应生成红色络合物,在558 nm 处测定其吸光度。结果 在优化实验条件下,该方法的线性范围0-10 ug/mL（r=0.9993）,检出限 1.35 ug/g,样品测定的相对标准偏差在0.89%-2.5%,并成功应用于乳与乳制品样品的检测,加标回收率为90.5% - 98%。结论 相对酸解法,碱解法的水解效率和酸解法基本一致,样品前处理操作简单,缩短了测定时间,灵敏度、重复性和稳定性良好。     

随动式变压器油色谱在线监测装置的开发与应用

为加强对变压器油中溶解气体的监督检测,补充实验室油色谱测试以及弥补传统在线监测装置存在的不足,研制了随动式变压器油色谱在线监测装置。该装置体积较小,安装方便,可随动安装在需重点监测的变压器上。监测装置的现场测试数据与实验室分析数据有较好的可比性,能够满足国标要求。