PE/RIE用自寻优功率匹配器的研究

本文用分布参数电路理论对干法刻蚀(PE/RIE)机中从射频电源到反应真空室的功率传送电路进行了分析。用双口网络的分析方法推导出求解L型匹配网中可变电容C_P、C_M在负载Z_L下最佳匹配值C_P、C_M的计算公式。由于当反射功率P_(ref)等于零时射频放电光电信号V_L达到最大,通过测量一定负载条件下V_L与C_P、C_M的关系,提出了采用自寻优的控制策略实现自动匹配的新方法。这种方法比传统的鉴相鉴幅法自动匹配器电路简单、控制范围宽、稳定性好,有利于半导体干法刻蚀新工艺的开发和研究。自寻优匹配器由硬件和软件相结合的方法构成。硬件以8031单片微机为中心,软件采用改进的座标轮换成功失败法。经实际运行,稳定可靠,满足干法刻蚀工艺的要求。     

短应力线轧机及其使用实践——兼评中小型轧机的改造途径

短应力线轧机是根据四十年代瑞典人提出的短应力线原理而设计的轧机,其名称就是因其应力线短而命名的。众所周知,评价轧机的先进、合理与否有两个指标:一是刚度,二是工艺性。为了提高轧机刚度,目前通常采用加大机架断面,或施加预应力两种方法。前者使轧机笨     

"十五"科技计划成果综述

"十五"期间,从国民经济发展和国防建设的需求出发,科技部在相应的国家科技计划中,重点对精密制造与数控技术和装备的关键技术研究方面给予重点支持,研究开发一批市场急需而目前国内尚依赖进口、有利于增强国防实力、展示我国数控装备水平的超精密、多功能及大型数控机床新产品和精密制造系统,重点突破具有网络化、开放式数控系统、数字式交流伺服装置、内装式主轴单元、直线伺服电机、高速加工工具系统等配套产品的关键技术,以整体提升数控机床的功能与水平.     

世界主要科技强国发展战略对比研究

分析了德国、美国、日本三个世界主要科技强国的科技发展战略,通过梳理三国的科技战略制定历程,分析各国科技战略成功因素,总结利用举国体制促进科技发展的经验,为我国新型举国体制的建立和实施提供参考.     

高端仪器仪表主要产品对外依存度分析

本文对我国高端仪器仪表主要产品对外依存情况进行了分析，包括与国外产品的差距，关键零部件、资金、技术等方面对外依存情况，并从政策、产业、人才、技术、资金等角度提出我国仪器仪表行业存在的问题，为政府制定相关科技政策、部署科技计划、制定产业发展路线、投资决策等提供支撑与参考。