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光刻工艺及其成品率对掩模洁净度要求极高.通过一系列研究分析,找到了传统掩模清洗工艺的一些缺点和局限性,借鉴和参考了传统掩模清洗工艺,克服了其局限性.基于精密掩模对加工质量的高要求,安装了保护膜并改进了精密掩模清洗工艺,通过试验形成了最终工艺.新清洗工艺的开发满足了0.5μm掩模加工洁净度要求. 相似文献
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复合顶板推垮型冒顶防治技术 总被引:1,自引:0,他引:1
该文介绍了3216W工作面推垮型冒顶原因,根据复合顶板推垮型冒顶的特点,采取有效的防治技术,减少了复合顶板推垮型冒顶事故的发生,确保了工作面的安全生产。 相似文献
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深部煤巷复合顶板锚索支护技术 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍深部高水平地应力煤巷开采中 ,采用高强度螺纹钢锚杆 +锚索 +钢丝绳联合支护与锚杆 +架棚 +钢筋梯子梁联合支护的比较 ,并通过现场施工实验 ,说明了锚杆 +锚索 +钢丝绳联合支护技术的适应性 ,从而有效的控制巷道的变形 相似文献
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