从特征尺寸的缩小看光刻技术的发展

从特征尺寸不断缩小变化的角度阐述了近代光刻技术发展的历程。指出90nm节点的主流光刻技术是193nmArF光刻;193nm浸入式光刻技术作为65nm和45nm节点的首选光刻技术,如果配合二次曝光技术,还可以扩展到32nm节点的应用,但成本会增加;如果特征尺寸缩小到22nm和16nm节点,EUV光刻、无掩模光刻以及纳米压印光刻等将成为未来发展的重要研究方向。在对各种光刻技术的原理、特点以及优缺点等分析对比的基础上,对未来主流光刻技术的发展做了一定的展望。     

遥感及综合物探方法用于山东招远南部隐伏成矿侵入体的空间定位

胶东是我国最重要且规模最大的金矿集中区,近年研究表明金矿与克拉通破坏密切相关。胶西北地区的成矿成岩年龄初步显示金成矿地质体为郭家岭岩体。招远南部的大尹格庄和夏甸金矿的成矿年龄表明了金矿床与郭家岭岩体的直接关系,但该区并未发现郭家岭岩体的出露。通过遥感解译获得了区域线性和环形构造,圈定出隐伏岩体赋存的可能位置,并利用航空磁法、Eh-4连续电阻率成像系统和CG-5相对重力仪进行了综合勘探。测量结果显示,研究区郭家岭岩体磁异常不明显,以中高等电阻率(1 000~3 000Ω·m)、低相对重力异常(8 mGal)的隐伏岩枝状侵入,埋藏深度约为1 km。与成矿相关的蚀变破碎带表现为低电阻率(0~1 000Ω·m)的电性体,与其他地质体区分较明显。多种地球物理勘查方法的联合运用,对定位隐伏侵入体和识别蚀变破碎带具有很好的效果。     

放射性废树脂处理技术

通过简介和比较核电站废树脂处理几种技术,认为芬顿湿法氧化技术和桶内干燥技术可以作为我国放射性树脂的处理技术。     

高精度时间间隔测量在时间比对和频率校准中的应用

高精度时间间隔测量,目前已经广泛应用于科学和工程领域。文章对高精度时间间隔测量方法进行了介绍,针对时间比对和频率校准方面的应用,分析了其对时间间隔测量的需求情况。并对时间比对和频率校准的实例进行了讨论和说明。     

济南西部冲积平原地下水水文地球化学特征研究

以济南西部冲积平原孔隙水和岩溶水为研究对象,采用Gibbs图解法、饱和指数法、离子比值法、钠吸附比值法、离子相关性分析法、因子分析法等研究方法对水化学数据进行深度分析,旨在摸清济南西部冲积平原岩溶水和孔隙水的水文地球化学过程.结果显示:济南西部冲积平原孔隙水和岩溶水水文地球化学过程主要受水岩相互作用和人类活动控制,既存...     

高温热水泵机封失效的研究和改造

本文针对机泵机械密封的非正常泄漏进行了认真分析,对泵机封结构的分析和操作条件的研究,保证设备的平稳运转,解决机械密封使用周期短问题。     

原子吸收法测定酱油中铅不确定度的评定

通过对测定酱油中铅含量的不确定度评定分析,找出不确定度产生的主要因素,评定确认最小二乘法拟合校准标准曲线及测量重复性是影响结果的最主要因素,使用标准物质(标准储备液)及稀释过程引入的不确定度也应引起重视,此方法对类似的火焰原子吸收法测定样品中待测元素含量有借鉴和参考作用。     

轻质隔热砖显气孔率的测定方法

介绍了轻质砖显气孔率的试验方法,并引入了表观密度的概念,此方法避免了测量试样饱和重的过程,减少了试验过程对试验结果的影响.     

天线驱动单元变频器干扰对卫星通信系统终端载噪比的影响及对策

天线驱动单元是天线伺服机构的重要组成部分,驱动天线指向预定位置。天线驱动单元内配置变频器,以实现天线转动速度的变化。而变频器往往会对其它设备产生干扰。文章对变频器干扰形成机理、抗干扰对策进行了分析。并结合实例,分析了典型卫星通信系统中天线驱动单元变频器干扰对终端载噪比的影响和对策。     

一起仓库火灾事故调查与场景再现

运用火灾事故调查和仿真模拟方法,分析了一起卫浴仓库火灾的起火原因,并对火灾发生、发展全过程进行现场再现。通过现场勘查、调查询问等方式初步确定火灾现场基本情况,利用仿真模拟软件建立相同工况下的火场模型,依据现场真实情况设定相应模拟参数,确定该起火灾属于电气线路火灾,由屋面线路短路产生持续性高温电弧击穿屋面彩钢板、掉落高温热源引燃下方可燃物所引发。该方法科学严谨、准确高效,可为火灾事故的原因分析提供帮助。