用于VLSI的注入氮化物特性

本文描述了在VLSI研制中通过氮注入形成氮化硅层。在形成各种氮化物层的过程中,注入分子氮能量范围为5到60keV,随后在1000℃的氮中退火。描述在炉中退火前后所形成的氮化物层特性,在不同的IR、SIMS和椭圆对称测量情况中找出局部氧化掩模的有效注入条件。相对于整个注入能量范围,注入氮的最初IR峰值为815cm~(-1)。对于退火后的高能量注入来说该位置会漂移到一个较高的波长数,低能量注入峰值接近于830cm~(-1),上述均与LPCVD为氧化物峰值相比而言。此研究结果认为,低能氧化物的化学成分几乎是可用定量计算的。退火过程中浓度分布向着表面漂移,并将增高峰值区氧的浓度。从氮化物分布剖面看最大值是在表面,而在<10keV时消失。在1000℃的蒸汽中生长5300(?)氧化层进行测试这些氮化物掩模特性。剂量为5×10~(16)N_2~+/cm~(-2)离子的氮化物在注入能量低于40keV会形成有效的氧化掩模。在此实验条件下,在10keV下所形成的氮化层可认为是一个有效的氧化掩模,足以适应选择性地腐蚀SiO_2,减小“鸟嘴”尺寸为常规LOCOS的四分之一。     

转杯纺—某些零部件的设计与工艺参数

过去的二十年里，转杯纺已显露出具有希望替代环锭纺这一简单易行而又广泛适用的纺纱系统。它已广泛应用于全世界。即使是最新一代的环锭纺仍然受到下列因素的限制：（1）钢丝圈速度为30－40米／分；（2）接头时间影响输出速度（产量）；（3）纺细支纱时的张力控制将产量或输出速度限制在15－17米／分。现在已被认识到，由于机械、技术和经济方面的限制，环锭纺在机器速度和纱线输出速度上不可能有任何进一步的突破。进一步的发展很可能通过一种全新的纺纱方法－自由端纺纱来实现。     

加利福尼亚/内华达死谷北部地区航空可见光/红外成像光谱仪测量数据分析

作为航空可见光/红外成像光谱仪(AVIRIS)评价项目的一部分,1989年5月在死谷部分地区应用航空可见光/红外224道成像光谱仪(工作波长范围:0.41—2.45μm)进行了飞行。通过地面光谱及“经验线定标”技术,把测量数据转换成反射率,从影像上提取出反射光谱,并与野外和实验室光谱数据进行比较,以便识别矿物,如绢云母、(细粒白云母)、方解石、白云石、赤铁矿和针铁矿,用影像光谱的二进制编码来产生表示这些矿物的空间分布及铁氧化物与其他矿物共生的影像图,该图像与常规地质图及若干次野外工作填制的蚀变图吻合较好,不过也显示了几个原先未填出的碳酸盐岩露头及需要进一步进行野外填图的地区。     

JETS,PLUMES AND BUOYANT JETS IN STATIC ENVIRONMENT

Turbulence represents an essential aspect in atmospheric and oceanic circulations.In particu-lar,it is a preponderant factor in the dispersion of pollutants of artificial or natural origin.Thevertical turbulent jets,plumes and buoyant jets discharging into static environment is one of themost important and basic flow patterns related with the environment pollution.These flows havenumerous important applications,for example,thrust augmentors,waste disposal plumes fromstacks and combustion systems,and significant problems of turbulent diffusion.     

纤维素酯片基照相胶片的稳定性 第三部分:胶片降解的测量

纤维素酯安全片基照相胶片降解的征兆是有醋酸或其他有机酸释放出来。降解还伴随着pH值、片基的拉伸性能以及乳剂湿强度的降低。对酸的增多,可在38°的水中漂洗出酸,然后再用氢氧化钠滴定的的方法测量。已经研究出了一种用于硝酸纤维素胶片的同样方法。水漂滴定法比pH值测量或物理性能测量的方法更灵敏,其缺点是需要具有实验技能以及破坏胶片。已经研究出了一种使用酸碱试纸的非破坏性的现场试验方法。     

HYDRODYNAMIC FORCE ON SMOOTH HORIZONTAL CYLINDER IN UNIFORM OSCILLATORY FLOW

ＨＹＤＲＯＤＹＮＡＭＩＣ　ＦＯＲＣＥ　ＯＮ　ＳＭＯＯＴＨ　ＨＯＲＩＺＯＮＴＡＬ　ＣＹＬＩＮＤＥＲ　ＩＮ　ＵＮＩＦＯＲＭ　ＯＳＣＩＬＬＡＴＯＲＹ　ＦＬＯＷＨＹＤＲＯＤＹＮＡＭＩＣＦＯＲＣＥＯＮＳＭＯＯＴＨＨＯＲＩＺＯＮＴＡＬＣＹＬＩＮＤＥＲＩＮＵＮＩＦ...     

加利福尼亚州旧金山海湾南部高分辨率地震反射剖面上的声波横向变化被错误地解释为全新世海湾软泥的断层错断

1992年和1993年我们在旧金山湾南部进行了高分辨率地震反射剖面采集,以调查沿假定的横穿海湾的基岩断层带上在全新世是否发生过断裂作用。最初的模拟记录在沿陡峭垂直边界上出现有反射束的视断错。起初将这些记录解释为在全新世海湾软泥上部10米(0.013秒双程旅行时)内沿密集陡峭垂直边界的复合断层组的显示。后来在1994年采用震源功率较高的不同的地震反射仪器又进行了测量,这种仪器生成的地震记录穿透深度较大(最大达20米,相当于0.026秒双程旅行时),其结果证明原来被解释为因断层作用而形成错断的反射波实际上是来自横向连续的反射层。最初解释中的这种陷井是由于反射同相轴振幅强度横向变化,同时使用的仪器功率较低而震源信号过长(大于15毫秒)引起的。当这些因素结合在一起时使得反射束沿陡峭垂直边界出现视断错。实际上如果使用第二种仪器,这些垂直边界出现在横向连续的反射同相轴的反射振幅突然降低的那些地方。反射振幅的这种明显的横向变化可以归因于在局部地段上存在生物(?)气体。     

预处理和织构对A1—4.5Mg—0.7Mn合金恢复和再结晶的影响

用测量硬度和电导率以及应用织构分析的方法研究了恢复和再结晶在冷轧Ａｌ－４．５Ｍｇ－０．７Ｍｎ中的发展。为了研究这些参数对动力学和在变形、恢复及再结晶时织构演变的影响，在冷轧之前使用合理的预处理改变沉淀状态和初始织构。最后，把获得的结果与用传统法生产的材料进行了比较。     

用x-t域预测反褶积法压制长周期多次波

用常规反褶积压制周期长于100毫秒的多次波时,有两种系统误差。一种误差是时窗效应,它是由根据数据的有限部分计算实际自相关函数而引起的。另一种误差是周期性假设所引起的,这种假设只有在一维介质、零偏条件下才能成立。误差的幅度随多次波周期长度的增加而增加。本文描述并证实了一种能克服常规一维法中两种系统误差的预测反褶积方程的精确二维解。该法可用于简单波场系统或捕波系统以及复杂或微屈多次波中。该方法并不要求将时窗设计成算子大小的6～10倍,在较大的传播角内均很精确。从经典预测意义上看,该法所用的公式是严密的。     

Video and User′s Data Multiplexing in Desktop Video Conferencing Systems

１ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＩｎｄｅｓｋｔｏｐｖｉｄｅｏｃｏｎｆｅｒｅｎｃｉｎｇｓｙｓｔｅｍｓ，ｔｈｅｒｅａｒｅｔｗｏｋｉｎｄｓｏｆｄａｔａ：ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｍｅｄｉａｓｔｒｅａｍａｎｄｕｓｅｒ′ｓｄａｔａｔｈａｔｎｅｅｄｔｏｂｅｔｒａｎｓｍｉｔｅ...