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11.
该文提出了一种基于惯性粘滑驱动原理、可快速运动的跨尺度精密运动压电平台.该平台由滑动部分、摩擦调整部分、堆叠压电陶瓷、惯性部分和底座组成,总尺寸为60 mm×60 mm×58 mm.该文详细介绍了基于此结构的新型惯性粘滑驱动原理.为了研究所设计压电平台的驱动性能,制作了样机并建立了实验系统.实验中,驱动频率7 kHz时...  相似文献   
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