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Shi-Jin Ding Hang Hu Lim H.F. Kim S.J. Yu X.F. Chunxiang Zhu Li M.F. Byung Jin Cho Chan D.S.H. Rustagi S.C. Yu M.B. Chin A. Dim-Lee Kwong 《Electron Device Letters, IEEE》2003,24(12):730-732
For the first time, we successfully fabricated and demonstrated high performance metal-insulator-metal (MIM) capacitors with HfO/sub 2/-Al/sub 2/O/sub 3/ laminate dielectric using atomic layer deposition (ALD) technique. Our data indicates that the laminate MIM capacitor can provide high capacitance density of 12.8 fF//spl mu/m/sup 2/ from 10 kHz up to 20 GHz, very low leakage current of 3.2 /spl times/ 10/sup -8/ A/cm/sup 2/ at 3.3 V, small linear voltage coefficient of capacitance of 240 ppm/V together with quadratic one of 1830 ppm/V/sup 2/, temperature coefficient of capacitance of 182 ppm//spl deg/C, and high breakdown field of /spl sim/6 MV/cm as well as promising reliability. As a result, the HfO/sub 2/-Al/sub 2/O/sub 3/ laminate is a very promising candidate for next generation MIM capacitor for radio frequency and mixed signal integrated circuit applications. 相似文献
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A.L. Pan H.G. ZhengZ.P. Yang F.X. Liu Z.J. Ding Y.T. Qian 《Materials Research Bulletin》2003,38(5):789-796
Small Ag particles or clusters dispersed mesoporous SiO2 composite films were prepared by a new method: First the matrix SiO2 films were prepared by sol-gel process combined with the dip-coating technique, then they were soaked in AgNO3 solutions followed by irradiation of γ-ray at room temperature and in ambient pressure. The structures of these films were examined by X-ray diffraction (XRD), high-resolution transmission electron microscope (HRTEM), and optical absorption spectroscopy. It has been shown that the Ag particles grown within the porous SiO2 films are very small, and they are isolated and dispersed from each other with very narrow size distributions. With increasing the soaking concentration and an additional annealing, an opposite peakshift effect of the surface plasmon resonance (SPR) was observed in the optical absorption measurements. 相似文献
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用保角变换法对共面波导金属厚度效应进行了理论分析,编制了相应的计算机程序,给出了数值解,并对此进行了多元曲线拟合,导出了考虑金属厚度后的形状比k、有效介电常数、特征阻抗、损耗的闭定表达式。用此修正表达式求得特征阻抗及损耗的数值解,并与K.C.格普塔的修正值及实验测量值进行了详细比较,结果表明此修正公式与实验值相符较好。 相似文献
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大规模数据库中的知识获取 总被引:1,自引:0,他引:1
一、前言数据是知识的潭泉,拥有大量的数据与拥有许多有用的知识完全是两回事.为了有效地利用大量的公共数据,必须更好地理解这些数据,并从其中快速、准确地发现知识.这里所说的知识是指大量数据中存在的规律性(r egularity)或不同属性值之间所存在的[I F THEN〕规则.将所获取的知识附加于仅由事实数据(fact data)构成的传统数据库上,既可强化数据库的查询能力,又可给数据库提供推理能力, 相似文献
37.
丁云龙 《精细石油化工进展》2002,3(7):7-9,12
直馏汽油非临氢高效异构化使用最新一代NGO-Ⅲ型催化剂,生产的产品汽油辛烷值、产品收率及催化剂稳定性等全面超过现用的工业催化剂,达到目前国内同类产品的领先水平。 相似文献
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随着社会经济的发展,在建筑物装饰中,石材幕墙已占有相当大的比例,华丽的石材幕墙确实为装点城市增添了光彩。庞大的幕墙所用石材每块重达几十斤,并且是由一个个小小的、很不起眼的干挂件与结构体相连接,可见质量是何等的重要。 但是,令人担忧的是,目前市场上的干挂件质量不容乐观。近几年,外交部大楼、首都机场候机楼等均发生过石板从天而降砸坏汽车和其他物品的事件。导致事件的原因是因挂件质量低劣、焊接头缝不饱满,且经过高温退火产生氧化而断裂所造成。去年中央电视台《焦点访谈》节目对江苏兴化生产的不锈钢产品质量… 相似文献
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40.
GPS硬件由主机和副机两部分组成,本文以Sercel公司生产的NR102K型GPS全球定位系统为例,介绍了其主机和副机在野外施工中的常见故障和解决方法,具有一定的实用性。 相似文献