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101.
Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光,在50kV加速电压下,其曝光剂量为50-100μC/cm^2,曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟。其灵敏度比PMMA快5倍,分辩率为0.5μm。采用两方法制备CaAsPHEMT:一种用Ⅰ线光致抗蚀剂,对源、漏及栅全部都采用电子束曝光,制备了0.5μm栅长的GaAs PHEMT;另一种将源、漏及栅分割成两部分,其中精细部分由电子束曝光,其余部分由光学系统曝光,用这种方法制备了0.25μm栅长的GaAs PHEMT。Ⅰ 相似文献
102.
103.
104.
105.
基于充放电原理实现的微电容测量电路 总被引:1,自引:0,他引:1
具有抗分布电容以及简单实用等特性的充放电电路是目前微电容测量中广泛采用的一种测量电路。本文对基于充放电原理的微电容测量电路进行了深入研究,并介绍一种基于充放电原理的实用电路。 相似文献
106.
107.
含氯取代基的聚间苯二甲酰间苯二胺的合成与表征 总被引:7,自引:0,他引:7
以 2 ,5 -二氯对苯二甲酰氯作为第三单体 ,将其与间苯二甲酰氯、间苯二胺在N ,N -二甲基乙酰胺中进行低温溶液共缩聚反应 ,合成了含氯取代基的聚间苯二甲酰间苯二胺。研究了单体摩尔浓度、反应初始温度、叔胺添加剂种类、第三单体用量等对共聚物相对分子质量的影响 ,并用红外光谱、热重分析等方法对共聚物进行了表征。 相似文献
108.
109.
减压渣油与FCC油浆共炭化的化学组成变化 总被引:6,自引:2,他引:4
考察了齐鲁石化胜利炼油厂催化油浆(FCC)和胜利减压渣油(VR)在490℃,0.8MPa下不同混合比的原料和不同反应时间的中间产物的HS、TS、PS、P及其1h中间产物的HS和TS的^1H-NMR。数据结果反映了体系的反应速度。掺入FCC油浆抑制了VR的反应活性,降低了体系的反应速度,增加了基质的溶解度;1h中间产物的组成结构更接近于原料及反应体系的反应性和基质的溶解度;1h中间产物的芳香度越高,取代基越少,侧链越短,基质对VR中的活性反应组分在炭化早期生成的高度缩合物质的溶解度越大。 相似文献
110.
针对单轴传动滚切式双边剪生产过程中出现的薄钢板经双边剪剪后出现“错牙”及“飞边”的问题,从多个方面入手对薄钢板出现“错牙”及“飞边”的原因进行了分析对比,提出了相应的解决方案,对今后滚切式双边剪的设计、制造及安装调试有借鉴和参考价值。 相似文献