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71.
Xiang Lu S. Sundar Kumar Iyer Jin Lee Brian Doyle Zhineng Fan Paul K. Chu Chenming Hu Nathan W. Cheung 《Journal of Electronic Materials》1998,27(9):1059-1066
We have demonstrated feasibility to form silicon-on-insulator (SOI) substrates using plasma immersion ion implantation (PIII)
for both separation by implantation of oxygen and ion-cut. This high throughput technique can substantially lower the high
cost of SOI substrates due to the simpler implanter design as well as ease of maintenance. For separation by plasma implantation
of oxygen wafers, secondary ion mass spectrometry analysis and cross-sectional transmission electron micrographs show continuous
buried oxide formation under a single-crystal silicon overlayer with sharp Si/SiO2 interfaces after oxygen plasma implantation and high-temperature (1300°C) annealing. Ion-cut SOI wafer fabrication technique
is implemented for the first time using PIII. The hydrogen plasma can be optimized so that only one ion species is dominant
in concentration and there are minimal effects by other residual ions on the ion-cut process. The physical mechanism of hydrogen
induced silicon surface layer cleavage has been investigated. An ideal gas law model of the microcavity internal pressure
combined with a two-dimensional finite element fracture mechanics model is used to approximate the fracture driving force
which is sufficient to overcome the silicon fracture resistance. 相似文献
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可燃性粉尘环境用电气设备标准介绍 总被引:1,自引:0,他引:1
章着重对可燃性粉尘环境用电气设备新标准(GB12476.1-2000和GB12476.2-2XXX)的主要内容进行了介绍,并对粉尘的爆炸机理,国内外粉尘标准体系等进行了阐述。 相似文献
73.
户式中央空调发展方向的探讨 总被引:2,自引:1,他引:1
本文描述了我国户式中央空调的发展现状,分析了三种户式中央空调各自的特点,提出了把风管式机组作为我国户式中央空调的发展方向。 相似文献
74.
鄂尔多斯西缘前陆盆地巨厚黄土地区地震采集技术 总被引:2,自引:2,他引:0
鄂尔多斯西缘前陆盆地表层地质地貌极其复杂,有巨厚黄土区、黄土-沙漠区及山前砾石-黄土区,独特的黄土地貌使得地震采集面临着诸多技术难题。根据以往巨厚黄土地区地震采集经验,采用多种方法系统地开展黄土表层结构精细调查,深入研究黄土地球物理特征及激发因素与表层黄土结构之间的关系,优选激发井位和井深,确保了激发效果;采用小道距、三线小线距、高密度空间采样技术,获得了高信噪比、高分辨率地震资料。研究表明,巨厚黄土地区地震采集时应优选激发井位和岩性,合理选择激发井深;坚持多深井组合激发、单井药量不宜过大总药量要大两项基本原则;采用高密度采样技术,提高采集资料的覆盖次数和信噪比。图10表1参15 相似文献
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