Plasma immersion ion implantation for SOI synthesis: SIMOX and ion-cut

We have demonstrated feasibility to form silicon-on-insulator (SOI) substrates using plasma immersion ion implantation (PIII) for both separation by implantation of oxygen and ion-cut. This high throughput technique can substantially lower the high cost of SOI substrates due to the simpler implanter design as well as ease of maintenance. For separation by plasma implantation of oxygen wafers, secondary ion mass spectrometry analysis and cross-sectional transmission electron micrographs show continuous buried oxide formation under a single-crystal silicon overlayer with sharp Si/SiO₂ interfaces after oxygen plasma implantation and high-temperature (1300°C) annealing. Ion-cut SOI wafer fabrication technique is implemented for the first time using PIII. The hydrogen plasma can be optimized so that only one ion species is dominant in concentration and there are minimal effects by other residual ions on the ion-cut process. The physical mechanism of hydrogen induced silicon surface layer cleavage has been investigated. An ideal gas law model of the microcavity internal pressure combined with a two-dimensional finite element fracture mechanics model is used to approximate the fracture driving force which is sufficient to overcome the silicon fracture resistance.     

可燃性粉尘环境用电气设备标准介绍

章着重对可燃性粉尘环境用电气设备新标准（GB12476．1－2000和GB12476．2－2XXX）的主要内容进行了介绍，并对粉尘的爆炸机理，国内外粉尘标准体系等进行了阐述。     

户式中央空调发展方向的探讨

本文描述了我国户式中央空调的发展现状，分析了三种户式中央空调各自的特点，提出了把风管式机组作为我国户式中央空调的发展方向。     

鄂尔多斯西缘前陆盆地巨厚黄土地区地震采集技术

鄂尔多斯西缘前陆盆地表层地质地貌极其复杂，有巨厚黄土区、黄土-沙漠区及山前砾石-黄土区，独特的黄土地貌使得地震采集面临着诸多技术难题。根据以往巨厚黄土地区地震采集经验，采用多种方法系统地开展黄土表层结构精细调查，深入研究黄土地球物理特征及激发因素与表层黄土结构之间的关系，优选激发井位和井深，确保了激发效果；采用小道距、三线小线距、高密度空间采样技术，获得了高信噪比、高分辨率地震资料。研究表明，巨厚黄土地区地震采集时应优选激发井位和岩性，合理选择激发井深；坚持多深井组合激发、单井药量不宜过大总药量要大两项基本原则；采用高密度采样技术，提高采集资料的覆盖次数和信噪比。图10表1参15     

石家庄市室内氡及其子体浓度

本文报道了用双滤膜法对石家庄市室内空气中氡及其子体浓度的调查结果。47个房间室内氡年平均浓度为17.0Bq·m~(-3),氡子体平均浓度是7.14Bq·m~(-3)。氡及其子体浓度的日变化是清晨4—8时出现峰值。季节变化是夏秋季低,冬季高,全年的最低值出现在8月,最高值出现在11月。     

电火花铣削钛合金电极损耗在线补偿研究

根据电火花铣削等损耗理论，对用电火花铣削钛合金的加工中电极损耗补偿作了分析阐述。并根据正交试验的数据对理论分析结果进行对比，同时给出了一定的结论和建议。     

抗红外成像制导技术浅析

红外成像制导导弹自诞生以来 ,经过数十年的发展 ,技术日臻完善 ,应用日趋广泛 ,研究和探讨对抗红外成像制导的技术和方法就显得尤为重要。介绍了红外成像制导的基本原理、发展和在战争中的重要作用 ,重点探讨了对抗红外成像制导的几种技术手段。     

脉冲相干激光雷达对运动目标成像模拟

针对运动目标，在考虑激光雷达方程、信噪比和自动增益、成像指标、噪声、图像处理等模块的基础上，对脉冲相干成像激光雷达进行了运动目标的成像模拟。     

电火花铣削钛合金加工工艺研究

在全面试验的基础上，对电火花铣削钛合金进行了初步研究，给出了电火花铣削钛合金的影响因素及其指标的关系曲线。并对其进行了数据分析。试验表明，冲油电火花铣削是加工钛合金的有效方法。     

后桥壳的可靠性优化设计

该文讨论了后桥壳的可靠性优化设计问题.在基本随机变量的概率特性已知的情况下,应用随机摄动法和约束随机方向法对后桥壳进行可靠性优化设计,并编制了实用的计算机程序,可以迅速准确地得到后桥壳的可靠性设计参数.