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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
82.
介绍一种新型的恒通量的微滤膜———ISOFLUX 膜 ,该种膜的膜通量衰减比通常的微滤膜要小得多 ,对ISOFLUX 膜的原理和数学模型进行了推导 ,并给出了对牛奶进行冷杀菌过滤的结果 . 相似文献
83.
基于阴极爆炸发射电子和电子对气体的碰撞电离模型 ,用胞中粒子 (PIC)模拟方法对单间隙冷阴极气体放电过程中阴极爆炸发射产生的电子和电子碰撞电离产生质子的动力学特性进行了研究。分别给出了在 1.33× 10 - 2 Pa氢气压和 10kV间隙电压下 ,气体放电过程中电子和质子的空间和相空间分布、速度统计分布以及轴线上电荷密度分布 ,分析了阴极爆炸发射电子电离过程。模拟结果表明 ,间隙中电子的最大速度达 5 .8× 10 7m/s ,而只有少数的气体电离产生的质子最大速度达到 1.3× 10 6 m/s。 相似文献
84.
85.
介绍了20世纪60年代以来国际上提出的9种主要的白云石化作用模式及机理,在此基础上对黔桂地区泥盆系—石炭系层(块)状白云岩的成因进行研究,建立了研究区研究层位中的层状白云岩储层概念模式,包括同生成岩环境中的潮坪潮汐泵汲白云石化模式,潮下海水泵汲白云石化模式,调整白云石化模式,埋藏成岩环境中的调整-压实排挤流白云石化模式,有机质参与的压实排挤流白云石化模式,以埋藏热水为主的混合白云石化模式,以埋藏热盐水为主的混合白云石化模式.以及与区域构造断裂有关的构造热液白云石化模式。 相似文献
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89.
在聚全氟乙丙烯(FEP)中添加 TiO_2和 Al_2O_3,通过热压成型的方法制备了 FEP/TiO_2复合材料和 FEP/Al_2O_3复合材料,研究了氧化物添加量对复合材料介电常数、介电损耗和高频击穿性能的影响。结果表明,随氧化物含量的增加,复合材料的介电常数和介电损耗均增加;在同一添加量下,TiO_2对复合体系的介电性能影响较大。FEP/TiO_2复合材料的高频击穿性能随 TiO_2含量的增加而下降,在 TiO_2含量为4.0%(质量分数,下同)时,复合材料的损伤阈值已降为 FEP 材料损伤阈值的48.9 %。而 FEP/Al_2O_3复合材料的高频击穿性能随 Al_2O_3含量的增加而升高,当 Al_2O_3含量为1.2%时,复合材料的损伤阈值已增大到 FEP 材料损伤阈值的2倍,达到313 J/m~2。 相似文献
90.
本文针对安钢高炉冷却壁破损的形式、原因进行研究分析,探讨了冷却壁的结构、材质、加工与安装工艺对其寿命的影响。介绍了安钢高炉炉役后期冷却壁的维护生产实践。 相似文献