炉管制程工艺中的片数效应及其优化方案

随着半导体技术的发展,越来越多的立式炉管在200mm及300mm集成电路晶圆制造中被应用到。同时炉管制程中的片数效应随着集成电路芯片的集成度越来越高而被凸显出来。文章将以LPCVD氮化硅在0.16μm、64M堆叠式内存制造过程中的片数效应为例,阐述炉管制程工艺中的片数效应以及通过调整制程参数（温度、沉积时间）的方式予以解决的实例。文中通过调整炉管上中下的温度来补偿气体的分布不均匀,调整沉积时间来补偿不同片数的沉积速率的差异,两者结合并辅以基于片数的分片程式来解氮化硅电介质沉积的片数效应。同时以此为基础总结出炉管片数效应的解决方案。     

PLD法生长Al2O3基ZnO薄膜的特性

在不同衬底温度下,用脉冲激光沉积法(PLD),在Al2O3(0001)平面上生长了ZnO薄膜。研究了衬底温度对其结晶质量、电学性质以及发光性质的影响。结果显示:XRD在2θ为34°处出现了唯一的ZnO(0002)衍射峰;ZnO薄膜的电阻率随衬底温度的升高而增大;在衬底温度为500℃时,出现了位于410nm附近的特殊的光致发光(PL)峰。     

基于监督协同近邻保持投影的人脸识别算法

基于流形学习理论的近邻保持嵌入算法(Neighborhood Preserving Embedding,NPE)能够发现数据集中隐含的内蕴结构,但当训练样本不足时,无法准确发现数据的内在流形结构,从而影响算法的识别效果.针对这一问题,对NPE算法进行改进,提出了监督协同近邻保持投影算法(Supervised Collaborative Neighborhood Preserving Projection,SCNPP).该算法在类别信息的指导下构建近邻图,使同类样本间的几何关系得到保持,利用协同表示弥补NPE因样本不足造成的表示误差,以一个有效保持样本近邻关系、准确发现数据内在流形结构的权值矩阵计算投影矩阵,提高分类效果.在FERET、AR和Extended Yale B人脸数据集上的实验验证了该算法的有效性.     

不完备数据分析方法（ROUSTIDA）的改进算法

针对在实际问题中,数据库中的数据经常受到各种因素的干扰,待处理的数据常有某种程度的不完备的情况,基于粗糙集理论,对不完备信息系统的完备化进行了研究.提出了改进的ROUSTIDA算法,改善了原算法对某些缺失数据不能处理的情况,分别提出了相应的策略,扩充了原算法的适用范围,同时可以在填充时避免不一致信息的产生,对下一步的数据挖掘作好了充分的数据准备.     

基于电子海图的水面无人艇全局路径规划研究

为解决水面无人艇全局路径规划问题,提出一种基于电子海图的距离寻优Dijkstra算法。该算法使用动态网格模型,克服了传统Dijkstra算法占用内存大的问题,可以减少规划时间,提高规划精度。仿真结果表明,采用的环境模型表示方法以及路径规划算法可以生成安全、合理的航线。     

基于ipv6和多副本的负载平衡方法

本文分析了p2p网络中存在的负载平衡问题并简要比较了现有用于p2p网络中的负载平衡技术,根据Ipv6协议中ip地址可用于标识节点物理位置的特性,在Chord网络结构的基础上提出了一种基于Ipv6和多副本的负载平衡方法。     

基于受限领域自动问答系统设计

自动问答系统的设计一直是自然语言处理领域的研究热点。尤其是在受限领域,基于问题库的问答系统具有准确、快捷和高效等优点。该文设计了一种融合社交网络技术的基于《计算机网络》课程的自动问答系统,其问答库的构建采用了VSM模型。实验证明,该系统具有较高的准确率,有一定的推广意义。     

变精度粗糙集的属性核和最小属性约简算法

文中深入研究了变精度粗糙集的属性约简问题,给出了3种属性约简的概念,针对不同概念的属性约简,分别提出了两种不同的求解变精度粗糙集最小属性约简算法:基于容差矩阵和属性核的最小约简.提出了变精度粗糙集的属性核思想,对其进行了形式化描述,说明了变精度粗糙集的属性核真正具备了核的本质特征,从而更深层地提出了基于属性核的启发式约简以求解最小约简.理论分析和实例表明,所提出的两种最小约简算法可以减小属性约简的搜索空间,提高约简的效率,使得变精度粗糙集的属性约简具有了实用性.     

C/纳米[Ni0.96Co0.04(OH)2-C]混合超级电容器

以纳米Ni0.96Co0.04(OH)2-C复合材料[Ni0.96Co0.04(OH)2(90%)+FJC(10%)]为正极,活性炭为负极,KOH水溶液为电解液组成混合超级电容器.其工作电压为0.75～1.5 V;适合的充电方法是恒流恒压充电;具有快速充电、高倍率放电和循环性良好的特点.8min可充满80%容量,2 200W/kg(以正、负极活性物总质量计算)放电时,比能量达23.2Wh/kg.     

家兔髂骨中无机元素浓度和血清生化参量的测定

培育家兔造成骨质疏松模型,用于研究妇女骨质疏松患者骨中无机元素的变化机理,使用中子活化分析技术测定３０例家兔髂骨中无机元素含量。结果表明,实验中Ｆ元素含量较对照组显著增高,Ｍｇ元素含量显著减少,而其它元素如Ｋ、Ｎａ、Ｃａ、Ｂａ、ｍＮ、Ｓｒ在两组之无显著差异。