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采用乙酸锆和正硅酸乙酯为原料, 硅烷偶联剂3-氨丙基三乙氧基硅(APTES)为表面改性剂, 通过溶胶-凝胶法制备了致密硅酸锆薄膜。系统研究了APTES的添加对硅酸锆薄膜的晶体结构、显微形貌及其抗氧化性能的影响。实验结果表明, 添加硅酸锆摩尔浓度10mol%的APTES可以制备出纯相的致密硅酸锆薄膜, 超过这一浓度则会出现少量的SiO2杂质, 同时造成硅酸锆溶胶的黏度迅速升高。AFM测试结果表明添加APTES制备的薄膜更致密平滑。1300℃抗氧化测试102 h后, 未镀膜的碳化硅基底增重0.16%, 相比之下, 添加APTES前后的样品的增重分别为0.08% 和0.03%, 说明添加APTES有利于提高ZrSiO4薄膜的致密度, 进而提高其抗氧化性能。 相似文献
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非水解溶胶-凝胶法制备莫来石晶须 总被引:3,自引:0,他引:3
以正硅酸乙酯和无水氯化铝为前驱体,乙醚为氧供体,采用非水解溶胶-凝胶法制备了直径为0.2~20μm,长径比高达60~70的莫来石晶须.借助XRD、SEM和TEM等测试手段研究了莫来石干凝胶粉的活性、矿化剂氟化铝引入方式及其用量、成型压力以及煅烧温度等工艺参数对合成莫来石晶须的影响.结果表明:采用恒压回流工艺制备的莫来石干凝胶粉,在12MPa压力下压制成片状,以外置方式引入3wt%的氟化铝,在1200℃保温1h可制备质量较好的莫来石晶须. 相似文献
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提出了一种制作ZnO/金刚石/硅结构声表面波器件的新工艺。利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,在硅基片上沉积了晶粒尺寸逐层减小的、光滑的多层式金刚石薄膜,表面粗糙度低于20 nm,厚度大于35μm。在金刚石膜上制作了线宽为8μm的IDT电极。尝试利用射频(RF)磁控溅射法在制备的多层式金刚石膜上生长ZnO薄膜,X-射线衍射(XRD)结果表明,当衬底温度(Th)为250℃、气压(P)为0.4 Pa时,在多层式金刚石薄膜衬底上可沉积高度c轴取向的ZnO薄膜,电阻率接近106Ω.cm,满足制作声表面波器件对衬底材料的要求。 相似文献
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无团聚HfO2纳米粉体的湿化学法制备及性能表征 总被引:2,自引:0,他引:2
以化学沉淀法制备HfO2纳米粉体,借助XRD、SEM、TEM、BET、激光粒度测试仪等测试方法研究了不同制备工艺对HfO2纳米粉料团聚状态的影响.采用初始浓度0.5mol/L的溶液,稳定溶液pH为9、添加表面活性剂PEG、用无水乙醇处理水洗后的湿凝胶、在700℃下煅烧,能制备无团聚,平均粒径为25nm,呈正交晶型的HfO2纳米粉体.200MPa冷等静压成型的素坯在氢气中1800℃保温2h得到96%理论密度的主相为正交相,有少量单斜相存在的HfO2陶瓷烧结体。 相似文献
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