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在大尺寸液晶显示器的薄膜晶体管(Thin Film Transistor,简称TFT)TFT工艺技术中,Cu正逐步取代Al作为电极材料。与Al电极制程相比,在进行栅极(Gate)制程时Cu容易发生腐蚀,这会降低产品良率。本文结合ADS(Advanced Super Demension Switch)显示模式下0+4掩膜板(mask)技术的Gate刻蚀制程和1+4掩膜版技术Gate光刻胶(Photo Resist,简称PR)剥离制程的Cu腐蚀现象进行分析,结合实验验证,确定Cu腐蚀原因,最终提出改善方案。实验结果表明:0+4mask技术的Gate制程中,ITO刻蚀液所含的HNO3会使MoNb/Cu结构电极的Cu发生电化学腐蚀;将电极结构更改为单Cu层则可以避免电化学腐蚀。在1+4mask技术的PR剥离(Strip)制程中,基板经历的剥离时间长或进行多次剥离或在剥离设备中停留,均会引起Cu腐蚀;增加剥离区间与水区间空气帘(Air Curtain)吹气量、增加TFT基板在过渡区间(H2O与剥离液接触的区间)的传输速度,管控剥离液使用时间等措施可以缓解Cu腐蚀。 相似文献
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目前很多自然保护区的巡护工作仍然使用传统的巡护方式,严重影响了巡护工作效率.本文针对自然保护区的实际巡护工作需求,基于Android移动开发、Java Web开发、KML、位置服务(Location Based Service,LBS)等主要技术来构建保护区移动巡护系统,以取代传统的巡护方式.系统包括移动端采集系统和Web端管理系统.巡护人员使用移动端采集系统提高巡护信息采集的效率;保护区的管理人员使用Web系统对巡护数据进行高效管理,并及时了解巡护人员的工作情况和实时位置.系统已在多个保护区得到实际使用,并且取得了较好的应用效果. 相似文献
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为应对大数据时代对带时间窗车辆路径问题(VRPTW)的实时求解要求,提出基于Spark平台的改进蚁群算法.在算法层面,利用改进的状态转移规则和轮盘赌选择机制构建初始解,结合k-opt邻域搜索进行路径构建优化,改进最大最小蚁群算法中的信息素更新策略;在实现层面,利用Spark提供的API对蚁群RDD进行操作,实现蚁群分布式并行求解.在标准算例Solomon benchmark和Gehring&Homberger benchmark的实验结果表明,该算法在大规模问题的求解精度和速度上有明显提升. 相似文献
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光刻胶经过曝光、显影后的锥角(Taper)和关键尺寸(Develop Inspection Critical Dimension,DICD)是光刻工艺的重要参数。明确影响锥角和DICD的工艺参数,进而控制锥角和DICD,这对工艺制程至关重要。本文结合光刻制程,探究了光刻胶厚度、曝光剂量、Z值、显影时间对锥角和DICD的影响,并结合蒙特卡罗算法对显影制程进行评估。实验结果表明:光刻胶厚度每增加1μm,DICD增加约2.6μm。同时,厚度增加会导致光刻胶顶部的锥角逐渐由锐角向钝角演变。曝光剂量每增加10mJ/s,DICD则减小约0.8μm,锥角则呈阈值跳跃式上升趋势。基板在最佳焦平面曝光,DICD和锥角均一性最好。显影时间每增加10s,DICD下降约0.3m,锥角则增加约1.7°。最终,DICD和锥角呈负相关关系,可以通过调节光刻工艺参数对锥角和DICD进行控制。 相似文献
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科研工作者在野外考察中经常使用移动智能终端进行数据采集、人员活动跟踪等工作。由于野外网络信号差,且地处偏远,部分区域会出现地图缺失和地图精度低的问题。为了补充低精度地区的地图数据,满足缺失地图区域的移动端离线使用需求,本文对自定义地图的数据获取、图库构建、离线存储等相关技术进行了研究,提出了移动终端自定义地图离线加载的解决方案。该方案首先使用开源软件 Mobile Atlas Creator 下载缺失区域地图,其次通过瓦片金字塔和瓦片系统规则构建地图瓦片图库,最后依据 MBTiles 规范进行离线地图瓦片存储和展示。基于该方案生成的系统可获取地图资源,创建自定义地图并提供离线功能,该系统不仅为地图缺失地区提供了高清地图,而且克服了海量数据在移动终端的存储难关,大幅提高了离线地图读取速度,为科考工作顺利开展提供重要地理信息。 相似文献
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泛素化是一种存在于真核细胞中与生理功能密切相关的蛋白修饰,泛素化与去泛素化处于动态调节过程中。 Ubp3是与人USP10同源的酵母去泛素化酶,结合辅引子Bre5在细胞内发挥广泛作用。为研究该复合体的工作机制,制备重组蛋白复合体,在大肠杆菌中成功表达并纯化重组Ubp3与Bre5单体及Ubp3/Bre5复合体,首次成功大规模制备重组Ubp3/Bre5复合体。通过一系列pulldown实验,检验Ubp3/Bre5与AAA家族中泛素选择性ATP酶Cdc48的相互作用模式,结果发现, Ubp3及Bre5无法单独与Cdc48结合,但Ubp3/Bre5复合体可以有效与Cdc48相互作用。提出了Ubp3/Bre5-Cdc48相互作用的新模式,制备了高质量重组Ubp3/Bre5复合体。该研究为通过生化及结构生物学进行分子机制探索奠定了基础。 相似文献
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2006年是"十一五"规划的开局之年,也是北京城市发展定位做出重大调整后重整旗鼓、蓄势待发的一年.随着环渤海经济圈的快速崛起及京津一体化进程的日益加速,以及新北京的战略调整,今天的平谷正迎来一场前所未有的发展机遇. 相似文献