单型掺杂柱电极的3D硅像素探测器的器件与制造工艺研究

设计了一种新的3D硅像素探测器的器件结构以简化制造工艺.该结构仅包含一种掺杂类型的柱状电极.通过工业级TCAD仿真对这种结构的电学特性进行了深入研究,阐述了它的技术优势及潜在缺陷.同时研究了制造这种3D硅像素探测器的特殊工艺流程和相关关键工艺,并给出了主要工艺结果.     

不同液化酶对玉米和小麦为原料的酒精发酵影响

目前许多酒精生产企业使用玉米和小麦混合原料生产酒精,小麦投加最高比例已达到20%。以玉米和小麦混合原料为基础,对不同厂家液化酶进行酒精发酵对比试验,通过检测分析,选择性能更好的液化酶为大生产服务。     

一种复合式MEMS皮拉尼真空计的设计

微电子机械系统(MEMS)皮拉尼真空计可广泛用于芯片封装和设备测试等领域.量程是MEMS皮拉尼真空计的重要性能指标之一.设计了一种复合式MEMS皮拉尼真空计,通过将具有不同测量范围的两款器件串联复合在同一芯片上,实现量程的扩展.以二极管型皮拉尼真空计为例设计了器件结构,优化了尺寸参数,并给出了兼容CMOS工艺的制造方案...     

基于随机森林回归的手臂末端力的软测量方法

针对手臂康复训练后仍缺乏准确力觉的康复病人提出了一种手臂末端力的软测量方法。采用肌电信号(EMG)传感器与手臂姿态传感器获取的数据综合描述手臂的综合状态信息,并作为随机森林回归的输入,将手臂末端力作为随机森林回归的输出。依据康复训练的基本动作单元,针对性的设计了"推拉"和"提放"两组试验,在离线状态下,利用力传感器测量得到的实际末端力与手臂的综合状态信息作为样本集,并通过大量样本数据训练随机森林回归算子得到稳定可靠的回归算子,最后通过在线预测手臂末端力与真实末端力输出的比较,验证了该方法的有效性。     

带有热沉结构的全镂空光读出红外焦平面阵列

A substrate-free optical readout focal plane array(FPA) operating in 8-12μm with a heat sink structure (HSS) was fabricated and its performance was tested.The temperature distribution of the FPA with an HSS investigated by using a commercial FLIR IR camera shows excellent uniformity.The thermal cross-talk effect existing in traditional substrate-free FPAs was eliminated effectively.The heat sink is fabricated successfully by electroplating copper,which provides high thermal capacity and high thermal conductivity,on the frame of substrate-free FPA. The FPA was tested in the optical-readout system,the results show that the response and NETD are 13.6 grey/K(F / # = 0.8) and 588 mK,respectively.     

X射线光刻掩模后烘过程的瞬态热分析

X射线光刻掩模是下一代光刻技术(NGL)中的X射线光刻技术的关键技术难点。在电子束直写后的掩模后烘过程中，掩模表面的温度场分布及温升的均匀性是影响掩模关键尺寸(CD)控制的重要因素，如果控制不当，会造成掩模表面的光刻胶烘烤不均匀，使掩模吸收体CD分布变坏。针对电子束直写后X射线光刻掩模的后烘过程建立了热模型，并采用有限元技术进行了瞬态温度场的计算。计算结果表明：采用背面后烘方式，在达到稳态时出现高温区和低温区，最大温差为10.19℃，容易造成光刻胶局部烘烤过度，而采用正面后烘方式，掩模达到稳态的时间短，温度分布均匀，烘烤效果好。     

除尘降噪打磨设备的设计

本项目将除尘和降噪的原理进行了分析，并将其进行综合，运用到了打磨设备上，解决了机械加工企业经常碰到的打磨噪音大、粉尘难以收集的问题。     

电制动停机装置的应用

陈村水电站位于皖南泾县境内青弋江上游,装机三台,总容量150MW。电网中起顶峰、调频、事故备用作用,开停机非常频繁。1984年至1987年开停机次数分别为788、1010、1130、1621次。三台机采用机械制动装置,操作比较简     

深亚微米同步辐射x射线光刻模拟

用束衍生法研究了深亚微米同步辐射 x射线光刻中掩模吸收体的光导波效应 ,并对 x射线光刻后的光刻胶剖面进行了理论计算。采用面向对象技术 ,研制了一个取名为 XLLS1 .0的模拟软件。本文对这个软件进行了详细介绍     

变水量系统Smith-模糊PID复合控制方法

针对集中空调冷水系统存在非线性、滞后性大、时变性强等特点,提出了一种Smith-模糊PID复合控制方法。首先构建了集中空调冷水系统的数学模型;其次分别介绍了模糊PID和Smith预估补偿的原理;最后结合两者优势,提出根据系统状态决定是否应在模糊PID控制的基础上加入Smith预估补偿的复合控制方式。仿真对比表明:采用该控制方式后,系统能够快速达到设定值,动态性能较好,并且抗干扰能力强,即便系统参数发生变化,依然能够保持较好的适应性。将此控制方法应用到实验平台上,实验数据表明,相较于传统PID控制,Smith-模糊PID复合控制具有更好的节能效果。